[发明专利]基板制造方法及基板制造装置

权利要求书

1.一种基板制造方法，其中，具有：

准备应形成第1线状图案及比所述第1线状图案粗的第2线状图案的支承基板的工序；及

在所述支承基板的应形成所述第1线状图案及所述第2线状图案的区域，多次重复进行使薄膜材料液滴化后着落并使着落的所述薄膜材料固化的步骤的工序，

为了使所述第1线状图案和所述第2线状图案的高度相同，用于形成所述第1线状图案的所述步骤的重复次数多于用于形成所述第2线状图案的所述步骤的重复次数；

其中，

以n表示用于形成所述第1线状图案的所述步骤的重复次数时，如下设定所述重复次数n：将所述步骤的重复次数设为n-1次而形成的所述第1线状图案的高度低于所述第2线状图案的高度，并且将所述步骤的重复次数设为n+1次而形成的所述第1线状图案的高度高于所述第2线状图案的高度。

2.根据权利要求1所述的基板制造方法，其中，

进一步具有如下工序：形成所述第1线状图案及所述第2线状图案之后，在所述支承基板的表面上未形成所述第1线状图案及所述第2线状图案的区域堆积金属。

3.一种基板制造装置，其中，具有：

载物台，保持应形成第1线状图案及比所述第1线状图案粗的第2线状图案的支承基板；

喷嘴头，具有朝向保持在所述载物台上的支承基板吐出光固化性液状的薄膜材料的多个喷嘴孔；

移动机构，使所述支承基板及所述喷嘴头的其中一者相对于另一者移动；

光源，向附着于保持在所述载物台上的支承基板的液状的所述薄膜材料照射固化用光；及

控制装置，控制所述喷嘴头、所述光源及所述移动机构，

所述第1线状图案的高度的目标值与所述第2线状图案的高度的目标值相同，

所述控制装置通过控制所述喷嘴头、所述光源及所述移动机构进行以下步骤：

多次重复进行第1步骤，在所述第一步骤中，一边使所述喷嘴头及所述基板的其中一者相对于另一者移动，一边从所述喷嘴头吐出液状的薄膜材料，从而在所述基板的表面上应形成第1线状图案及第2线状图案的区域涂布液状的薄膜材料，并且从所述光源向附着在所述基板的液状的所述薄膜材料照射固化用光以使所述薄膜材料固化，

进一步执行第2步骤，在所述第2步骤中，一边使所述喷嘴头及所述基板的其中一者相对于另一者移动，一边从所述喷嘴头吐出液状的薄膜材料，从而在所述基板的表面上应形成所述第1线状图案的区域涂布液状的薄膜材料，并且从所述光源向附着在所述基板的液状的所述薄膜材料照射固化用光以使所述薄膜材料固化，并且在应形成所述第2线状图案的区域不涂布液状的薄膜材料，

为了使所述第1线状图案和所述第2线状图案的高度相同，用于形成所述第1线状图案的所述步骤的重复次数多于用于形成所述第2线状图案的所述步骤的重复次数；

其中，以n表示用于形成所述第1线状图案的所述步骤的重复次数时，如下设定所述重复次数n：将所述步骤的重复次数设为n-1次而形成的所述第1线状图案的高度低于所述第2线状图案的高度，并且将所述步骤的重复次数设为n+1次而形成的所述第1线状图案的高度高于所述第2线状图案的高度。

4.根据权利要求3所述的基板制造装置，其中，

所述控制装置中存储有用于根据线状图案的宽度和高度计算出步骤的重复次数的对应关系信息，

并且所述控制装置根据所述第1线状图案的高度的目标值、所述第1线状图案的宽度的目标值、所述第2线状图案的宽度的目标值及所述对应关系信息，计算出所述第1步骤的重复次数及所述第2步骤的重复次数。