[发明专利]一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法

权利要求书

1.一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，其制备方法是先用钒的醇盐制备前驱液，然后将前驱液涂于衬底表面制备前驱物薄膜，最后将前驱物薄膜置于真空条件下烧制而成；具体如下：

（1）以三异丙醇氧钒为溶质，异丙醇为溶剂配制前驱液；

（2）把所得前驱液涂于蓝宝石衬底，制得前驱物薄膜；

（3）把所得前驱物薄膜置于真空炉中烧结，保温0.5~20小时，即得到二氧化钒薄膜，其中，烧结温度控制在400℃~600℃，烧结环境真空度控制在3 Pa~15 Pa。

2.根据权利要求1所述的一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，其特征在于：步骤（3）中所述的保温时间优化范围在4h~10h。

3.根据权利要求1所述的一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，其特征在于：步骤（3）中所述的烧结温度优化范围在430℃~590℃。

4.根据权利要求1所述的一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，其特征在于：步骤（3）中所述的烧结环境真空度优化范围在4Pa~8Pa。

5.根据权利要求1所述的一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，其特征在于：在步骤（2）制得前驱物薄膜后，对其进行烘干处理。

6.根据权利要求5所述的一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，其特征在于：所述的烘干处理，其烘干温度不超过300℃，烘干时间不超过15分钟。

7.根据权利要求1所述的一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，其特征在于：在步骤（1）制备前驱液时，加入冰醋酸作为稳定剂，冰醋酸与三异丙醇氧钒的质量比为1:1~6:1。

8.根据权利要求1所述的一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，其特征在于：在步骤（1）制备的前驱液中，三异丙醇氧钒与异丙醇的质量体积比g:ml为1-15:100。