[发明专利]一种存储器化学抛光润滑物在审
| 申请号： | 201410292038.0 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104046265A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 范向奎 | 申请（专利权）人： | 青岛宝泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 存储器 化学抛光 润滑 | ||
技术领域
本发明涉及一种存储器化学抛光润滑物。
背景技术
对增加内存或硬盘容量的需求以及内存或硬盘小型化的趋势(因为计算机设备中需要更小磁盘驱动器)持续不断，强调内存或硬盘片制造方法的重要性，包括这类盘片的平坦化或抛光，以确保性能最佳。尽管存在几种用于与半导体装置制造相关的化学机械抛光(CMP)组合物及方法，但是几乎没有常规的 CMP 方法或商购的 CMP 组合物非常适于内存或硬盘片的平坦化或抛光。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种存储器化学抛光润滑物。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：
一种存储器化学抛光润滑物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠16-23份，酰胺丙基甜菜碱2-6份，琥珀酸二辛酯磺酸钠3-7份，双酚A型聚碳酸酯11-14份，三乙胺10-17份，甲基三乙氧基硅烷3-5份，氧化铜9-13份，钛酒石酸12-20份，苯甲酸甲酯3-5份，聚乙烯醇4-8份，二氧化硅4-5份，表面活性剂1-3份，有机添加剂2-5份，盐酸9-13份。
本发明的有益效果是：制备简单，抛光效果明显，性能稳定。
具体实施方式
实施例1
一种存储器化学抛光润滑物，其特征在于，包括下列重量份数的物质：脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠16-23份，酰胺丙基甜菜碱2-6份，琥珀酸二辛酯磺酸钠3-7份，双酚A型聚碳酸酯11-14份，三乙胺10-17份，甲基三乙氧基硅烷3-5份，氧化铜9-13份，钛酒石酸12-20份，苯甲酸甲酯3-5份，聚乙烯醇4-8份，二氧化硅4-5份，表面活性剂1-3份，有机添加剂2-5份，盐酸9-13份。
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