[发明专利]一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器

权利要求书

1.一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，包括测量微压力引起机械变形的金属弹性元件(2)，其特征在于：在所述金属弹性元件(2)的顶部粘贴有多层挠曲电介电薄膜(6)，所述挠曲电介电薄膜(6)上下表面分别设置有上金属电极(7)和下金属电极(8)，所述上金属电极(7)和下金属电极(8)之间通过绝缘层(5)隔开，所述挠曲电介电薄膜(6)的上金属电极(7)和下金属电极(8)分别连接有输出测量电荷信号的引线(4)，引线(4)的一端从外壳(1)引出，所述挠曲电介电薄膜(6)连同上金属电极(7)和下金属电极(8)以及绝缘层(5)均置于外壳(1)内，所述金属弹性元件(2)和外壳(1)间设置有绝缘垫片(9)，所述金属弹性元件(2)下方具有施加压力的压力通道(10)。

2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，其特征在于：所述金属弹性元件(2)也置于外壳(1)内。

3.根据权利要求1所述的一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，其特征在于：所述引线(4)与挠曲电介电薄膜(6)的上金属电极(7)和下金属电极(8)分别通过引线键合的方式连接。

4.根据权利要求1所述的一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，其特征在于：所述挠曲电介电薄膜(6)为钛酸锶钡薄膜。

5.根据权利要求1所述的一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，其特征在于：所述挠曲电介电薄膜(6)粘贴在金属弹性元件(2)的顶部中央。

6.根据权利要求1所述的一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，其特征在于：所述金属弹性元件(2)的顶部全部嵌入挠曲电介电薄膜(6)。

7.根据权利要求1所述的一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，其特征在于：所述金属弹性元件(2)的下方固定有底座(3)，所述底座(3)为中空结构形成压力通道(10)。

8.根据权利要求1所述的一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，其特征在于：所述多层挠曲电介电薄膜(6)之间以绝缘层(5)相互间隔增加。

9.根据权利要求1所述的一种高灵敏度叠层式挠曲电压力传感器，其特征在于：所述挠曲电介电薄膜(6)的最外层为绝缘层(5)。