[发明专利]晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法有效

专利信息
申请号: 201410290056.5 申请日: 2014-06-26
公开(公告)号: CN104086799A 公开(公告)日: 2014-10-08
发明(设计)人: 徐元清;王杰;申君来;张孟雷;韩志民;高敏杰;辛玲;张志刚;郭莉萍 申请(专利权)人: 河南新大新材料股份有限公司
主分类号: C08J11/06 分类号: C08J11/06;C08L71/08;C10M175/00
代理公司: 河南科技通律师事务所 41123 代理人: 樊羿
地址: 475000 河南*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 硅片 切割 聚乙二醇 脱色 方法
【权利要求书】:

1.一种晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于,包括以下步骤:

(1)将晶硅片切割废液和活性炭分别引入到容器内;

(2)进行加热,控制液体温度在30~60℃,同时,不断搅拌并向容器内持续通入压缩空气,使切割废液与活性炭混合均匀;

(3)将所得混合液通入过滤罐进行过滤,收集滤液,即得回收后的聚乙二醇成品。

2.根据权利要求1所述的晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于:所述活性炭为木质活性炭,粒度为50~100目。

3. 根据权利要求1所述的晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于:所述活性炭用量为切割废液的0.1~0.5wt%。

4. 根据权利要求1所述的晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于:步骤(2)所述搅拌并通压缩空气过程持续15~60分钟。

5. 根据权利要求1所述的晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于:步骤(2)中,在搅拌之前将容器内液体pH值调节至4.5~6.5。

6. 根据权利要求5所述的晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于: 所述pH值调节所用酸为草酸、柠檬酸、盐酸和硫酸的至少一种。

7. 根据权利要求1所述的晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于:步骤(3)中所述混合液在过滤罐内进行闭路循环反复过滤,至得到清液的聚乙二醇再收集滤液。

8. 根据权利要求7所述的晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于:所述闭路循环反复过滤持续0.5~1小时。

9. 根据权利要求1所述的晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于:步骤(3)中所述过滤罐内滤网结饼后,向过滤罐内持续通入压缩空气进行辅助过滤。

10. 根据权利要求1或9所述的晶硅片切割液聚乙二醇的脱色方法,其特征在于:所述压缩空气的气压为0.1~0.5MPa。

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