[发明专利]一种径向零附加力转台

说明书

技术领域

本发明涉及用于光刻领域转台驱动机构技术领域，特别是一种径向零附加力转台驱动机构。它可以实现径向零附加力的旋转驱动，实现转台旋转中心的高度稳定性，包括旋转中心的偏摆和平移。

背景技术

在光刻领域或针对光刻配置的测试平台，为了降低系统复杂性和成本，通常系统不配置调焦调平台，当系统配置有旋转台时，就对旋转台旋转中心的稳定性提出很高的要求，即很高的偏摆精度和中心平移精度，通常偏摆在几秒以内，中心平移在1um以内。

传统的旋转台通常采用蜗杆涡轮驱动，摩擦轮驱动，齿轮驱动，链条驱动以及皮带轮驱动等，在旋转台上直接配置这类机构会对旋转轴都有较大的附加力，导致旋转中心额外的偏摆和平移，满足不了轴心稳定性要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种径向零附加力的驱动机构以及使用该驱动机构，轴心具有高度稳定性的旋转台。

本发明采用的技术方案是：一种径向零附加力转台，包括基座，轴承端盖，盖板，摩擦轮，轴承，台阶轴，小轴承，垫片，轴销，电机，电机座，联轴器，固定轴承，滚轮座，滚轮，支撑轴承，挡圈，垫块，工作台，编码盘和转盘；其中：

基座，轴承端盖，盖板，摩擦轮，轴承，台阶轴，小轴承，垫片，轴销，电机，电机座，联轴器，固定轴承，滚轮座，滚轮，支撑轴承，挡圈和垫块，组成该转台的驱动机构，提供旋转方向的驱动力；基座为整个装置的支撑骨架，布置在最外侧；电机机壳部分与电机座固定在一起，电机座与滚轮座固定在一起；滚轮座内一端安装有固定轴承，另一端安装有支撑轴承，滚轮穿过固定轴承和支撑轴承，实现滚轮的轴向固定和径向固定；联轴器一端连接电机转轴，另一端连接滚轮，实现运动传递；轴承内圈通过台阶轴和盖板与基座的右端面固定在一起，为固定部分；轴承外圈与摩擦轮固定在一起，为运动部分；摩擦轮和滚轮之间通过具有预紧功能的滚轮座紧压在一起，通过摩擦力，实现运动传递，即电机的旋转运动传递到滚轮，然后传递到摩擦轮；摩擦轮的端面和轴承端盖外端面连接在一起，轴承端盖的内环上通过轴销压有一小轴承，轴销和轴承端盖通过螺纹连接，进而电机转轴的旋转运动通过滚轮，摩擦轮，轴承端盖和轴销传递到小轴承上；

工作台，编码盘和转盘组成该装置的导向测量部分，其中工作台固定在编码盘内环上，为该装置的输出平台，编码盘集成有旋转导向结构和角度测量传感器，内环连接工作台，外环固定在基座上；工作台的右端面固定有一转盘，转盘外侧上配置有一“U型槽”；

驱动机构提供的驱动力通过轴承和转盘上布置的“U型槽”实现耦合，完成驱动力传递，且在转轴径向上无附加力，保证转轴稳定性；

进一步的，“U型槽”夹持小轴承，通过配做，保证有2μm到5μm的预压，保证小轴承在U型槽内能顺利滑动，又无明显间隙，既实现运动传递又不增加径向附加力。

进一步的，所述滚轮座一侧配置有板簧结构，另一侧配置有铰链结构，滚轮座板簧端和铰链端均通过垫片与基座固定，其中通过修磨垫片，可以调节滚轮和摩擦轮之间的预紧力，同时滚轮座的“铰链+板簧”结构还能适应滚轮和摩擦轮的圆度误差和轴心误差，保证任何时候都有足够的预紧力，实现系统可靠的运动。

本发明的原理在于：

本发明为一种用于光刻领域中，轴心具有高度稳定性的旋转台，它包括基座，轴承端盖，盖板，摩擦轮，轴承，台阶轴，小轴承，垫片，轴销，电机，电机座，联轴器，固定轴承，滚轮座，滚轮，支撑轴承，挡圈和垫块，组成该装置的驱动机构，采用的是传统的摩擦轮方案，提供旋转方向的驱动力；工作台，编码盘和转盘组成该装置的导向测量部分，其中编码盘集成了旋转导向结构和角度测量传感器，确保转轴稳定性和角度位移测量，实现系统控制闭环。驱动机构提供的驱动力通过轴承和转盘上布置的“U型槽”实现耦合，完成驱动力传递，且在转轴径向上无附加力，保证转轴稳定性；