[发明专利]三维形状测定装置

权利要求书

1.一种三维形状测定装置，具备：

光源；

数字反光镜器件，通过使从所述光源照射的光反射，向检查对象部位照射能够取得所述检查对象部位的高度信息的交替包含明部和暗部的条纹图案光；及

拍摄部，拍摄由所述数字反光镜器件照射了条纹图案光的所述检查对象部位，

所述数字反光镜器件在俯视图中具有矩形形状并且包括多个反光镜，

所述多个反光镜分别形成为矩形形状，并且在矩形的对角线所对应的位置具有摆动轴，

多个所述摆动轴构成为相互平行且平行于所述数字反光镜器件的与所述光源相向的边，

所述数字反光镜器件构成为，通过调整所述多个反光镜而照射相对于所述数字反光镜器件的与所述光源相向的边倾斜45度的交替包含明部和暗部的条纹图案光。

2.根据权利要求1所述的三维形状测定装置，其中，

所述光源构成为与矩形形状的所述数字反光镜器件的靠近所述光源的边相向。

3.根据权利要求1所述的三维形状测定装置，其中，

所述数字反光镜器件及所述光源构成为能够绕俯视图中所述数字反光镜器件的中心附近的未摆动的状态下的所述多个反光镜的反射面的法线旋转。

4.根据权利要求3所述的三维形状测定装置，其中，

所述数字反光镜器件及所述光源构成为能够绕所述法线旋转45度。

5.根据权利要求3所述的三维形状测定装置，其中，

还具备投影透镜，

所述数字反光镜器件及所述光源构成为能够绕所述法线旋转且与所述投影透镜独立地旋转。

6.根据权利要求1所述的三维形状测定装置，其中，

还具备投影仪，所述投影仪包含所述光源及所述数字反光镜器件，并向预定的投影区域照射条纹图案光，

所述光源及所述数字反光镜器件配置为从所述光源照射的光的行进方向与所述反光镜的所述摆动轴正交。

7.根据权利要求6所述的三维形状测定装置，其中，

还具备用于将所述数字反光镜器件及所述光源安装于投影仪框体部的安装部、投影透镜，

所述数字反光镜器件及所述光源以能够绕俯视图中所述数字反光镜器件的中心附近的未摆动的状态下的所述多个反光镜的反射面的法线旋转且能够与所述投影透镜独立地旋转的方式安装于所述安装部。

8.根据权利要求6所述的三维形状测定装置，其中，

所述投影仪具有投影透镜，

所述投影仪以从上方观察包围所述拍摄部的方式配置多个，

多个所述投影仪分别构成为，以所述投影区域包含所述拍摄部的拍摄区域的方式至少设定所述投影透镜的投影倍率或所述投影透镜的光轴。

9.根据权利要求6所述的三维形状测定装置，其中，

所述投影仪具有投影透镜，

所述投影仪构成为，所述数字反光镜器件和所述投影透镜能够以所述数字反光镜器件的俯视图中的中心线与所述投影透镜的光轴错开的方式彼此相对地平行移动。

10.根据权利要求6所述的三维形状测定装置，其中，

所述拍摄部构成为能够在矩形形状的拍摄区域拍摄所述检查对象部位，

所述投影仪以从上方观察包围所述拍摄部的方式配置多个，

多个所述投影仪中的配置在相对于所述拍摄区域的边倾斜预定角度的位置的投影仪的数字反光镜器件及光源配置成，绕俯视图中所述数字反光镜器件的中心附近的未摆动的状态下的所述多个反光镜的反射面的法线旋转与配置所述投影仪的倾斜所述预定角度的位置对应的角度。

11.根据权利要求10所述的三维形状测定装置，其中，

所述拍摄部构成为能够在矩形形状的拍摄区域拍摄所述检查对象部位，

在所述投影仪的配置位置是与所述拍摄区域的短边相向的位置的情况下，数字反光镜器件及光源配置成相对于配置在与所述拍摄区域的长边相向的位置的投影仪的数字反光镜器件及光源而绕俯视图中所述数字反光镜器件的中心附近的未摆动的状态下的所述多个反光镜的反射面的法线旋转90度，

在所述投影仪的配置位置是相对于所述拍摄区域的长边倾斜45度的位置的情况下，数字反光镜器件及光源配置成相对于配置在与所述拍摄区域的长边相向的位置的投影仪的数字反光镜器件及光源而绕与所述多个反光镜的反射面垂直的法线旋转45度。