[发明专利]振动片、振子、振荡器、传感器以及电子设备

说明书

本申请是申请日为2011年3月16日、申请号为201110063782.X、发明名称为“振动片、振子、振荡器以及电子设备”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及振动片、具有振动片的振子和振荡器、以及具有振荡器的电子设备。

背景技术

以往公开了如下振动片：在振动片的振动臂部的前端部形成具有与振动臂部的臂宽相比急剧增大(粗)的臂宽的施重部，实现了振动臂部的振动以及振动片频率的稳定化(例如，参照专利文献1以及2)。另外，还公开了形成有具有从振动臂部的前端部起逐渐扩大的臂宽的施重部的振动片(例如，参照专利文献3)。

【专利文献1】日本特开2005-5896号公报(5页～7页，图1～5)

【专利文献2】日本特开2009-27711号公报(5页～6页，图1)

【专利文献3】日本特开2006-311090号公报(6页～7页，图3)

但是，在现有的振动片中，存在施重部难以跟随于振动臂部的振动(振幅)的情况，如果在振动臂部的前端部形成有急剧增大(粗)的施重部，则具有存在这样的问题：施重部不跟随于振动臂部的振动(振幅)，而是由于惯性进行与振动臂部的振动不同的振动，从而导致振动臂部的振动不稳定或者使振动臂部的振动频率变化。另外，在振动臂部形成有具有从振动臂部的前端部逐渐扩大的臂宽的施重部的情况下，虽然减少了振动臂部的振动不稳定的情况，但存在如下问题：在前端部形成施重部而起到的频率降低效果变小。

发明内容

本发明是为了解决上述课题的至少一部分而完成的。可通过以下方式或应用例来实现。

[应用例1]本应用例的振动片具有：基部；从所述基部延伸的多个振动臂部；沿着所述振动臂部的长度方向形成的长槽部；中间施重部，其具有比所述振动臂部的臂宽大的臂宽，并相对于所述振动臂部形成在前端侧；以及前端施重部，其具有比所述中间施重部的臂宽大的臂宽，并相对于所述中间施重部形成在前端侧。

由此，振动片具备具有比振动臂部的臂宽大(粗)且比前端施重部的臂宽小(细)的臂宽的中间施重部，从而使中间施重部跟随于振动臂部的振动(振幅)。此外，还具备具有比中间施重部的臂宽大(粗)的臂宽的前端施重部，从而使前端施重部跟随于振动臂部以及中间施重部的振动(振幅)，所以能够使振动臂部的振动以及振动片的振动频率稳定。另外，振动片可通过具备中间施重部来获得频率降低效果。

[应用例2]优选的是，在上述应用例的振动片中，在所述振动臂部与所述中间施重部之间具有第1扩宽部，在该第1扩宽部中，臂宽从所述振动臂部的臂宽逐渐扩大到所述中间施重部的臂宽。

由此，在振动片中，针对振动臂部的臂宽与中间施重部的臂宽之间的差异，使第1扩宽部的臂宽从振动臂部的臂宽逐渐扩大到中间施重部的臂宽，由此得到抑制例如振动片材料的各向异性等导致的蚀刻的非对称性的效果，所以能够使得在振动臂部与中间施重部之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，能够在多个振动臂部之间保持平衡，从而能够使振动片的振动特性稳定。

[应用例3]优选的是，在上述应用例的振动片中，在所述中间施重部与所述前端施重部之间具有第2扩宽部，在该第2扩宽部中，臂宽从所述中间施重部的臂宽逐渐扩大到所述前端施重部的臂宽。

由此，在振动片中，针对中间施重部的臂宽与前端施重部的臂宽之间的差异，使第2扩宽部的臂宽从中间施重部的臂宽逐渐扩大到前端施重部的臂宽，由此得到抑制例如振动片材料的各向异性等导致的蚀刻的非对称性的效果，所以能够使得在中间施重部与前端施重部之间对于振动方向(振幅方向)具有对称性。由此，能够在多个振动臂部之间保持高精度的平衡，从而能够使振动片的振动特性更稳定。

[应用例4]本应用例的振子的特征在于具备上述应用例所述的振动片和收纳所述振动片的封装。

由此，振动片通过具有中间施重部，来使中间施重部跟随于振动臂部的振动(振幅)，还通过具有前端施重部，来使前端施重部跟随于振动臂部以及中间施重部的振动(振幅)。由此，振子的振动频率稳定，并且还具有频率降低效果。

[应用例5]本应用例的振荡器的特征在于具有：上述应用例所述的振动片；与所述振动片电连接的电路部和收纳所述振动片以及所述电路部的封装。

由此，通过具备具有稳定的振动频率以及频率降低效果的振动片、以及电路部，振荡器可具有良好的振荡特性。

[应用例6]本应用例的电子设备的特征在于具备：上述应用例所述的振动片、以及与所述振动片电连接的电路部。