[发明专利]激光束照射装置及用该装置制造有机发光显示装置的方法有效
| 申请号: | 201410231251.0 | 申请日: | 2014-05-28 |
| 公开(公告)号: | CN104347823B | 公开(公告)日: | 2018-01-12 |
| 发明(设计)人: | 李廷敏;亚历山大·奥洛温斯基;埃尔马·格伦;海德龙·金德;阿诺德·吉勒 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司;弗劳恩霍夫应用研究促进协会 |
| 主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56;H01L27/32;B23K26/064 |
| 代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人: | 余朦,刘铮 |
| 地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 激光束 照射 装置 制造 有机 发光 显示装置 方法 | ||
1.一种激光束照射装置,包括:
激光源,配置成发射光;
准直器,配置成校准所发射的光;
扫描仪,配置成调整校准后的光以改变其照射方向;
第一透镜部,配置成聚焦调整后的光以在密封部上照射激光束;
相机,配置成接收穿过所述扫描仪的可视光;
热感应部,配置成接收穿过所述扫描仪的红外光;以及
控制部,配置成控制所述激光束的移动方向和强度,
其中所述控制部进一步配置成使所述激光束在执行旋转运动时沿着第一方向移动,其中所述旋转运动的路径包括多个分段,以及
其中所述控制部包括激光驱动器,所述激光驱动器配置成在每个所述分段中改变激光束的强度。
2.根据权利要求1所述的激光束照射装置,进一步包括:
分色镜,配置成将来自所述准直器的校准后的光反射至所述扫描仪,并且对具有与激光相同的波长并且入射到所述扫描仪的光进行过滤。
3.根据权利要求1所述的激光束照射装置,进一步包括:
分色镜,配置成将所述可视光反射到所述相机上,并且使得所述红外光穿过并照射到所述热感应部上。
4.根据权利要求1所述的激光束照射装置,进一步包括:
照明部,配置成将照明光照射在所述密封部上。
5.根据权利要求1所述的激光束照射装置,其中,
所述旋转运动的频率在50–60Hz范围内。
6.根据权利要求1所述的激光束照射装置,其中,
所述控制部进一步配置成将所述激光束的所述旋转运动控制为使得所述激光束形成在一个旋转运动周期期间不重叠的轨迹。
7.根据权利要求1所述的激光束照射装置,其中,
所述扫描仪包括:检流计反射镜,配置成使得所述旋转运动能够实现;以及
所述控制部配置成控制所述检流计反射镜。
8.一种采用激光束照射装置制造有机发光显示装置的方法,所述方法包括:
形成有机发光部;
形成围绕所述有机发光部的密封部,所述密封部被形成在第一基板或第二基板上;
对准所述第一基板和所述第二基板;以及
照射激光束,以使得所述激光束在执行旋转运动时沿着所述密封部移动,以及当所述激光束执行所述旋转运动时改变所述激光束的强度,
其中所述旋转运动的路径包括多个分段,所述激光束照射装置发出的激光束的强度在每个所述分段中被改变。
9.根据权利要求8所述的方法,其中,
所述第一基板和第二基板中的至少一个使得所述激光束穿过。
10.根据权利要求8所述的方法,其中,
所述旋转运动的频率在50–60Hz范围内。
11.根据权利要求8所述的方法,其中,
所述旋转运动被执行为使得所述激光束形成在一个旋转运动周期期间不重叠的轨迹。
12.根据权利要求8所述的方法,其中,
通过扫描仪执行所述旋转运动,所述扫描仪包括配置成改变所述激光束的照射方向的检流计反射镜;以及
通过控制部控制所述检流计反射镜,所述控制部配置为控制所述检流计。
13.根据权利要求8所述的方法,其中,
通过所述激光束照射装置,以小于所述旋转运动速度的速度执行沿着所述密封部的直线运动。
14.根据权利要求8所述的方法,其中,
当所述激光束执行所述旋转运动时,以45度间隔控制所述激光束的所述强度。
15.根据权利要求8所述的方法,其中,
以点波束的形式照射所述激光束,以及
通过包括程序以进行控制的控制部控制所述激光束的强度和移动方向。
16.根据权利要求15所述的方法,其中,
所述点波束的直径小于所述密封部的宽度。
17.根据权利要求8所述的方法,其中,
所述密封部包括熔块。
18.根据权利要求17所述的方法,其中,
所述熔块形成闭环以围绕所述有机发光部。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择





