[发明专利]光学干涉仪和具有这种光学干涉仪的振动计

权利要求书

1.一种用于干涉仪式测量物体(MO)的振动计，其包括辐射源(7)、干涉仪和至少一个第一检测器(12a)，

所述干涉仪具有用于射入输出光束的输出光束-光束输入端(1)和用于将所述输出光束分成至少第一部分光束(4)和第二部分光束(5)的分光装置(3)，

其中，所述干涉仪通过在所述干涉仪的光路内设置至少一个频移器(6)而被构成为外差干涉仪，并且

其中，所述干涉仪具有一个或多个光波导元件(2、F2、F3、F4)，利用所述光波导元件至少在所述输出光束-光束输入端(1)、所述分光装置(3)和所述频移器(6)之间形成光波导，

其特征在于，

所述频移器(6)设置在其中一束部分光束的光路内，

所述辐射源和所述干涉仪如此协同工作，即，由所述辐射源(7)生成的光束能够作为输出光束射入所述输出光束-光束输入端，

所述干涉仪被构成用于将作为测量光束的所述第一部分光束成像到所述物体(MO)上；并且

所述干涉仪和所述第一检测器如此协同工作，即，作为接收光束的、由所述物体(MO)至少部分反射的测量光束与基准光束在所述第一检测器(12a)的至少一个检测器表面上至少部分叠加，

所述分光装置被构造用于将输出光束分成测量光束、第一基准部分光束和至少一束第二基准部分光束以及用于将接收光束分成第一接收部分光束和至少一束第二接收部分光束，

所述振动计具有至少一个第二检测器(12b)并且如此构造，即，在形成光学干涉情况下，所述第一接收部分光束与第一基准部分光束在所述第一检测器(12a)的检测表面上叠加，并且所述第二接收部分光束与第二基准部分光束在所述第二检测器(12b)的检测表面上叠加，并且

所述振动计具有分析单元，其用于分析所述第一检测器(12a)和所述第二检测器(12b)的测量信号，所述分析单元被构成为按照接收分集原理分析两个检测器的测量信号。

2.根据权利要求1所述的振动计，其特征在于，

至少在所述输出光束-光束输入端(1)、所述分光装置(3)和所述频移器(6)之间的光路无自由光束。

3.根据前述权利要求中任一项所述的振动计，其特征在于，

所述分光装置(3)是按照非偏振的方式构成的。

4.根据权利要求1或2所述的振动计，其特征在于，

所述频移器(6)被设计成双折射波导。

5.根据权利要求1或2所述的振动计，其特征在于，

所述干涉仪具有至少一个偏振滤波器(P1)，所述频移器(6)在布置有所述频移器的部分光束内设置在所述偏振滤波器(P1)和所述分光装置(3)之间。

6.根据权利要求1或2所述的振动计，其特征在于，

所述分光装置(3)被构造用于分开至少两束强度不同的部分光束。

7.根据权利要求1或2所述的振动计，其特征在于，

一个或多个光波导元件被设计成平面波导道和/或光纤。

8.根据权利要求6所述的振动计，其特征在于，

所述第一部分光束(4)是测量光束。

9.根据权利要求8所述的振动计，其特征在于，

所述振动计具有成像光学器件(AO)，其用于将测量光束成像到要测量物体(MO)表面的对应测量点上。

10.根据权利要求9所述的振动计，其特征在于，

在所述成像光学器件(AO)和所述干涉仪之间，测量光束和接收光束的光路是利用波导元件形成的。

11.根据权利要求1所述的振动计，其特征在于，

所述频移器(6)设置在测量光束的光路内。