[发明专利]微机电装置的位置侦测装置及其侦测方法

说明书

技术领域

本发明是有关于一种位置侦测装置，特别是有关于一种侦测微机电装置的位置信息的侦测装置及其侦测方法。

背景技术

近来，电容侦测在微机电(micro-electromechanicalsystem,MEMS)领域的应用越来越广泛。由于微机电装置具有小尺寸、微型比例及可携式的特性，使其内部的元件对环境中的变动因子如温度、噪声等的敏感度因而提高，而较不易取得微机电装置的位置信息。因此，通过使用如电容侦测的技术，可以较精确的侦测得到微机电装置的位置信息以提升其使用效能。

然而，在现有技术中，大多是利用锁相回路(PhaseLockLoop，PLL)或微电流侦测等方式来实现电容侦测，该方式容易受到温度、噪声及各元件(如电感、电阻及电容)的相异性的影响，而导致侦测结果的不准确。因此，解决侦测微机电装置的位置信息技术，仍需克服侦测可能不准确的问题。

发明内容

本发明提供一种位置侦测装置及其侦测方法，用以侦测微机电装置的位置信息。

本发明的位置侦测装置包括振荡电路、载波频率侦测器以及解调变器，且可以将其应用在微机电装置的位置侦测。振荡电路耦接微机电装置，依据微机电装置所提供的等效电容来产生振荡信号。载波频率侦测器耦接振荡电路，且侦测所述振荡信号以获得振荡信号的载波频率信息。解调变器耦接振荡电路以及载波频率侦测器，且依据载波频率侦测器所侦测得到的载波频率信息来对振荡信号进行解调变，据以获得微机电装置的位置信息。

本发明的侦测微机电装置的位置信息的方法包括，依据所要侦测的微机电装置提供的等效电容来产生振荡信号；侦测振荡信号并据以获得振荡信号的载波频率信息；以及，依据所侦测得到的载波频率信息来对振荡信号进行解调变，据此获得微机电装置的位置信息。

基于上述，本发明提出的方法是使用解调变方式来实现电容侦测，且发明所提出的方法可以不受到温度、噪声及各元件(如电感、电阻及电容)的相异性的影响，而侦测出较精确的微机电装置的位置信息。

附图说明

图1是根据本发明一实施例的位置侦测装置的方块图。

图2是根据本发明一实施例，说明图1中的振荡电路的一实施例的示意图。

图3是根据本发明一实施例，说明图1中的解调变器的一实施例的示意图。

图4是根据本发明另一实施例的位置侦测装置的方块图。

图5是根据本发明另一实施例，绘示图4中的模拟低通滤波器的一实施例的示意图。

图6是根据本发明一实施例的微机电装置的位置信息侦测方法的流程图。

【附图标记说明】

100：位置侦测装置

101：微机电装置

110：振荡电路

120：载波频率侦测器

130：解调变器

301：振荡器

302-303：混波器

304：微分器

305：算术运算器

306-308：滤波器

400：位置侦测装置

401：微机电装置

410：振荡电路

420：载波频率侦测器

430：解调变器

440：模拟低通滤波器

450：模拟数字转换器

501：运算放大器

CEQ：等效电容

C1-C4：电容

GND：参考接地端

Inv1-Inv2：反相器

L1：电感

R1-R5：电阻

S610-S630：微机电装置的位置信息的侦测步骤

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本发明进一步详细说明。

本说明书中描述的位置侦测装置可以应用在微机电装置上，其中所述微机电装置例如是微投影机、微型麦克风、听力辅助器及其他可携式的微机电装置，但并不仅限于此。