[发明专利]高精度测试模组

权利要求书

1.一种高精度测试模组，其特征在于：所述高精度测试模组包括由上至下依次固定设置的上限位针板（1）、探针头部限位板（2）、第一增强板（3）、中部针板（4）、第二增强板（5）、探针尾部限位板（6）及下限位板（7），所述探针头部限位板（2）、所述第一增强板（3）、所述中部针板（4）、所述第二增强板（5）及所述探针尾部限位板（6）上均设有多个与探针主体（8）间隙配合的通孔Ⅰ，所述上限位针板（1）上设有多个与探针头（9）间隙配合的通孔Ⅱ，所述下限位板（7）上设有多个与探针尾（10）间隙配合的通孔Ⅲ，所述通孔Ⅱ和所述通孔Ⅲ的孔径均小于所述通孔Ⅰ的孔径。

2.根据权利要求1所述的高精度测试模组，其特征在于：所述第一增强板（3）和所述第二增强板（5）均设为中空，形成空腔，工作时，探针穿过中空部分，所述第一增强板（3）和所述第二增强板（5）的外围被所述中部针板（4）和所述探针头部限位板（2）或所述探针尾部限位板（6）紧压。

3.根据权利要求1所述的高精度测试模组，其特征在于：所述通孔Ⅱ的下部同轴设有与所述探针主体（8）间隙配合的所述通孔Ⅰ。

4.根据权利要求1至3任一项所述的高精度测试模组，其特征在于：所述高精度测试模组还包括设置在所述上限位针板（1）上方的载板（11），所述载板（11）设置有多个与探针相适配的导针孔（12）。

5.根据权利要求4所述的高精度测试模组，其特征在于：所述导针孔（12）由上导向孔（13）和下导向孔（14）组成，所述上导向孔（13）的孔径小于所述下导向孔（14）的孔径，且所述上导向孔（13）与所述下导向孔（14）之间通过导向斜面（15）过渡。

6.根据权利要求4所述的高精度测试模组，其特征在于：所述导针孔（12）为锥形孔，所述导针孔（12）的孔径由上至下逐渐变大。

7.根据权利要求4所述的高精度测试模组，其特征在于：所述探针头部限位板（2）上设置有若干个导柱（16），所述载板（11）上设有与所述导柱（16）相适配的导柱孔（17），所述载板（11）与所述导柱（16）滑动配合。