[发明专利]基于能量损失聚焦成像的带电粒子照相装置有效
| 申请号： | 201410196408.0 | 申请日： | 2014-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN104034740A | 公开（公告）日： | 2014-09-10 |
| 发明（设计）人： | 杨国君;魏涛;张卓;李一丁;张小丁;江孝国;石金水 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院流体物理研究所 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 梁田 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 能量 损失 聚焦 成像 带电 粒子 照相 装置 | ||
【权利要求书】：
1.基于能量损失聚焦成像的带电粒子照相装置，包括束流传输线和光学成像系统，其特征在于，束流传输线分成轴对称分布的前半段和后半段，所述光学成像系统位于束流传输线末端；所述前半段由包括能量准直器的第二聚焦段，位于第二聚焦段前、后的第一聚焦段和第三聚焦段组成，所述第一聚焦段和第二聚焦段之间、第二聚焦段和第三聚焦段之间分别设置有第一偏转磁铁和第二偏转磁铁，所述前半段的传输矩阵为六阶矩阵A：
传输矩阵A满足色散消除条件：A12＝0、A26＝0、A21＝0、A34＝0、A43＝0；前、后下标分别表示该元素所在的行、列。
2.根据权利要求1所述的基于能量损失聚焦成像的带电粒子照相装置，其特征在于，通过在各个聚焦段设置四极磁铁使得传输矩阵A满足色散消除条件。
3.根据权利要求1所述的基于能量损失聚焦成像的带电粒子照相装置，其特征在于，所述能量准直器由两块平行金属板组成。
4.根据权利要求1所述的基于能量损失聚焦成像的带电粒子照相装置，其特征在于，所述光学成像系统由光电转换屏和CCD相机组成。
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