[发明专利]一种在浮法线上生产镀膜玻璃的装置

说明书

技术领域

本发明涉及玻璃生产设备，特别涉及一种在浮法玻璃线上生产镀膜玻璃的装置。

背景技术

现有浮法玻璃在线镀膜器，是将含有构成薄膜元素的前驱气体通到热玻璃表面，利用化学气相沉积反应，在玻璃表面成膜的设备。该镀膜器输出的前驱气体必须借助玻璃带的高温才能发生化学气相反应，所以镀膜器必须设置在浮法线的高温区，通常是锡槽内或退火窑前端，因此带来以下问题：对锡槽的扰动大，造成锡槽工况不稳，能耗增加，锡液损耗严重；镀膜区高温会使大体积内的前驱气体被加热反应，不仅能耗很大，而且前驱气体浪费严重，利用率低一般低于15%；镀膜区温度高于玻璃的软化点，薄膜易产生缺陷；镀膜区温度太高，对镀膜器的材质、变形、冷却、防腐等均有极高要求，使镀膜器制造难度大、成本高昂、操作复杂。

发明内容

本发明的目的在于克服现有浮法玻璃在线镀膜的缺点，提供一种在浮法线上生产镀膜玻璃的装置。

本发明的目的通过以下技术方案实现：

一种在浮法线上生产透明导电膜玻璃的装置，包括退火窑以及设置在退火窑中的镀膜器，其特征在于：退火窑中还设有使镀膜器输出的前驱气体光致解离的激光装置， 激光装置包括：

设置于退火窑一侧的升降台，升降台上设有激光器和相应的掩膜版，在退火窑的两侧分别设有与掩膜版对应的入射窗口和出射窗口，激光器射入退火窑的激光束位于镀膜器底部与退火窑中的玻璃板之间，退火窑另一侧设有与出射窗口相对应的激光功率计。

退火窑两侧分别设有一个氮气喷嘴，每个氮气喷嘴分别与相应的入射窗口或出射窗口相配合。

在上述技术方案的基础上，可以有以下进一步的技术方案：

所述的镀膜器包括：

a、一对悬挂梁，它连接于退火窑的顶部，两悬挂梁之间连接顶板，顶板中间位置设有前驱气体长条孔，前驱气体长条孔两侧分别对称设有气体回收长条孔，前驱气体长条孔及气体回收长条孔的外围设有矩形环状长条孔；

b、顶板下面连接一个箱体伸入退火窑中，箱体上分别设有前驱气体通道、气体回收通道及保护气体通道，它们分别与前驱气体长条孔、气体回收长条孔及矩形长条孔对应联通；

c、顶板上中间位置设有一个前驱气体输送管，前驱气体输送管的两侧分别对称设有气体回收管，前驱气体输送管和气体回收管外围设有矩形环状的保护气体输送管，所述的前驱气体输送管、气体回收管及保护气体输送管分别与对应的前驱气体长条孔、气体回收长条孔及矩形长条孔相联通。

镀膜器中在前驱气体通道两侧分别设置了冷却腔，冷却腔连接冷却介质油循环管。 

在退火窑上设有镀膜测控装置，它包括安装在退火窑顶壳上的一组温度监测红外探头，在镀膜区域退火窑顶壳中心线上设置的一压力监测传感器，在镀膜区前的退火窑内的顶部横截面上吊挂的两只加热器。

本发明的镀膜器是利用一对悬挂梁横跨玻璃带上方设置，长度和玻璃带宽度相同，悬挂梁矩形梁体内通风冷却；

上述前驱气体通道外侧设置了冷却腔，以便满足前驱气体所需的工艺温度要求，冷却腔侧面连接冷却介质油循环管；

其中激光装置输出的激光光子的能量应高于前驱气体分子的键能，可以在低温状态下有效击断前驱气体的分子键；掩膜版可以精确限定激光束水平方向下部边界，升降台可以精确调节激光束下边界与玻璃表面的距离，掩膜版和升降台配合使用，既能使气相反应尽可能在靠近玻璃表面进行，又避免激光对薄膜和玻璃表面的损伤；入射和出射窗口分别设置在浮法退火窑两边侧壁上，配有氮气喷嘴，具有冷却窗口和防止反应物沉积在窗口上的作用；激光功率计正对出射窗口外设置，具有测量激光功率和吸收激光的作用；

本发明的测控装置中，温度监测红外探头对准其下的玻璃带，分别监测玻璃带中部和边部的温度，压力监测传感器用于监测退火窑内的压力，顶部吊挂的加热器在退火窑横截面上，可对玻璃带的边部进行加热，使玻璃带横向温度均匀，在线检测装置设在镀膜区域下游，其反馈信息用于生产调整。