[发明专利]一种在浮法线上生产镀膜玻璃的装置

权利要求书

1.一种在浮法线上生产透明导电膜玻璃的装置，包括退火窑（40）以及设置在退火窑中的镀膜器（10），其特征在于：退火窑中还设有使镀膜器排出的前驱气体光致解离的激光装置，激光装置包括：

设置于退火窑一侧的升降台（21），升降台（21）上设有激光器（22）和相应的掩膜版（23），在退火窑（40）的两侧分别设有与掩膜版（23）对应的入射窗口（24）和出射窗口（25），激光器（22）射入退火窑的激光束（27）位于镀膜器（10）底部与退火窑中的玻璃板（41）之间，退火窑另一侧设有与出射窗口（25）相对应的激光功率计（26）。

2.根据权利要求1所述的一种在浮法线上生产透明导电膜玻璃的装置，其特征在于：退火窑两侧分别设有一个氮气喷嘴（28），每个氮气喷嘴（28）分别与相应的入射窗口或出射窗口相配合。

3.根据权利要求1或2所述的一种在浮法线上生产透明导电膜玻璃的装置，其特征在于所述的镀膜器（10）包括：

a、一对悬挂梁（18），它连接于退火窑的顶部，两悬挂梁之间连接顶板（11），顶板（11）中间位置设有前驱气体长条孔（1），前驱气体长条孔两侧分别对称设有气体回收长条孔（2），前驱气体长条孔（1）及气体回收长条孔（2）的外围设有矩形环状长条孔（3）；

b、顶板（11）下面连接一个箱体（10a）伸入退火窑中，箱体（10a）上分别设有前驱气体通道（7）、气体回收通道（8）及保护气体通道（9），它们分别与前驱气体长条孔（1）、气体回收长条孔（2）及矩形长条孔（3）对应联通；

c、顶板（11）上中间位置设有一个前驱气体输送管（14），前驱气体输送管（14）的两侧分别对称设有气体回收管（15），前驱气体输送管（14）和气体回收管（15）外围设有矩形环状的保护气体输送管（16），所述的前驱气体输送管（14）、气体回收管（15）及保护气体输送管（16）分别与对应的前驱气体长条孔（1）、气体回收长条孔（2）及矩形长条孔（3）相联通。

4.根据权利要求3所述的一种在浮法线上生产透明导电膜玻璃的装置，其特征在于，在前驱气体通道（7）两侧分别设置了冷却腔（17），冷却腔连接冷却介质油循环管。

5.根据权利要求1或2所述的一种在浮法线上生产透明导电膜玻璃的装置，其特征在于，退火窑上设有镀膜测控装置，它包括安装在退火窑顶壳上的一组温度监测红外探头（31），在镀膜区域退火窑顶壳中心线上设置的一压力监测传感器（32），在镀膜区前的退火窑内的顶部横截面上吊挂的2只加热器（33）。