[发明专利]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201410188884.8 | 申请日： | 2014-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN104726821B | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 俞薰 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 金光军;韩明星 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
1.一种蒸镀装置，包括：
掩模，布置于基板的下部且具备开口图案；
紧贴单元，布置于所述基板的上部，朝所述掩模侧对所述基板的上表面加压，以使所述基板的下表面与所述掩模紧贴；
蒸镀源，布置于所述掩模的下部，朝所述掩模侧供应蒸镀物质，
其中，所述紧贴单元包括：
加压板，设置于所述基板的上部，且包括突出图案区域；
多个第一突出部件，设置于所述突出图案区域的边缘位置，且朝所述基板突出；
多个第二突出部件，设置于除设置有所述多个第一突出部件的部分之外的所述突出图案区域，且朝所述基板突出，
其中，所述第一突出部件的宽度小于所述第二突出部件的宽度。
2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述加压板 包括与所述基板的边缘位置对应的边缘区域，所述突出图案区域与所述边缘区域不同。
3.如权利要求2所述的蒸镀装置，其中，位于特定面积内的所述多个第一突出部件的数量大于位于所述特定面积内的所述多个第二突出部件的数量。
4.如权利要求2所述的蒸镀装置，其中，所述第一突出部件的高度与所述第二突出部件的高度相同。
5.如权利要求2所述的蒸镀装置，其中，所述第一突出部件的高度大于所述第二突出部件的高度。
6.如权利要求5所述的蒸镀装置，其中，位于特定面积内的所述多个第一突出部件的数量大于位于所述特定面积内的所述多个第二突出部件的数量。
7.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述多个第一突出部件或所述多个第二突出部件以格子形态排列。
8.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述多个第一突出部件及所述多个第二突出部件与所述加压板形成为一体且通过与所述加压板相同物质形成。
9.如权利要求2所述的蒸镀装置，其中，
所述紧贴单元还包括位于所述边缘位置区域而对所述基板的上表面的边缘位置进行加压的基板加压部件。
10.如权利要求9所述的蒸镀装置，还包括：
加压部件杆，连接到基板加压部件的一侧；
加压部件移动部，使加压部件杆沿上下方向移动。
11.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述紧贴部件还包括位于所述加压板的上部的磁性体板，
所述掩模由具有磁性的材料构成。
12.如权利要求1所述的蒸镀装置，其中，所述紧贴部件还包括将所述加压板朝所述基板的上表面移送的移送部。
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