[发明专利]超高真空中高热载光学元件冷却水路密封的连接装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种超高真空中高热载光学元件冷却水路密封的连接装置，属于在超高真空环境下光学元件热缓释研究领域。

背景技术

超高真空环境下工作的高热载光学元件表面,在高能光束辐照下对光学元件表面造成热吸收,使其光学表面受热后产生热变形影响了光斑质量，降低了光学表面反射率。

为了降低超高真空环境下工作的光学元件表面受热后产生热变形的影响，对光学元件必须采用水冷减少其受热。超高真空中高热载光学元件冷却水路密封的连接及优化是科技人员追求的目标。

现有技术中构建实现超高真空环境下高热载光学元件冷却水路密封连接采用超高真空内密封连接水路输入与输出口，该密封连接方法缺点：考虑箱体装拆方便及真空密封因此水管护套波纹管密封法兰必须安装在超高真空腔内侧底板上，一旦超高真空环境中水管护套波纹管密封法兰检漏超标，维修时就要拆掉整个腔体工作量极大也不方便。

发明内容

本发明为解决现有技术中存在的问题，提出一种超高真空高热载中光学元件冷却水路密封的连接装置，满足安装调试、维修及超高真空检漏方便、优化冷却水路密封连接，实现了超高真空与低真空及其与大气密封隔离。该装置减少了安装调试、维修及超高真空检漏工作量，提高了工作效率。

超高真空中高热载光学元件冷却水路密封的连接装置包括：

水管及连接螺母组件装入改制连接法兰通孔中，改制连接法兰上安装法兰O型密封圈，并与多功能转换焊接组件通过B连接法兰固紧环连接紧固密封；

水管及连接螺母组件下端通过水管连接两通与水路连接密封；

将水管护套波纹管焊接组件通过A刀口密封圈与多功能转换焊接组件密封连接，并用A垫圈、A螺栓与螺母组件固紧密封；

超真空腔及法兰焊接组件与多功能转换焊接组件之间设置B刀口密封圈密封连接，且将水管护套波纹管焊接组件及其通过A刀口密封圈与多功能转换焊接组件密封连接的部位置于超真空腔内。

多功能转换焊接组件由A刀口法兰、A法兰连接管及B法兰、B法兰连接管与组合法兰、松套法兰外环的优化组合而成；A刀口法兰与A法兰连接管焊接；B法兰与B法兰连接管焊接；松套法兰外环与组合法兰配合安装。

将水管护套波纹管焊接组件通过A刀口密封圈与多功能转换焊接组件下端的A刀口法兰密封连接；

将O型密封圈装入多功能转换焊接组件中B法兰上，通过连接法兰连接再使用A连接法兰固紧环使其紧固密封；通过连接法兰连接检漏仪；

多功能转换焊接组件中组合法兰及B刀口密封圈与超高真空腔及法兰组件连接,并通过螺栓与螺母组件、B垫圈固紧密封。

将压紧螺钉、密封法兰及弹性锁紧螺母、低真空密封圈与改制连接法兰连接，起到密封水管及连接螺母组件的作用。

本发明的有益效果：在超高真空中高热载光学元件冷却水路密封的连接方法与装置中所采用超高真空腔体外真空连接的方法实现超高真空中高热载光学元件冷却水路低真空侧与超高真空腔、冷却水路低真空侧与大气之间的密封连接。多功能转换焊接组件中留有超高真空检漏抽气口(低真空抽气口)及超高真空密封口、低真空密封口，多功能转换焊接组件通过氩弧焊接工艺手段将其管道与密封法兰连接焊接密封，集成了一个多功能组件，通过各密封口的密封连接及密封法兰及弹性锁紧螺母锁紧实现了超高真空中高热载光学元件冷却水路密封连接及冷却水管定位固紧，即将多功能转换焊接组件进行了优化设计减少了安装调试、维修及超高真空检漏的工作量，提高了工作效率。

附图说明

图1是本发明所述的多功能转换焊接组件结构示意图。

图2是本发明超高真空中高热载光学元件冷却水路密封的连接装置主视示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明做进一步说明。

超高真空中高热载光学元件冷却水路密封的连接装置，具体制作安装过程如下：