[发明专利]一种计算机硬盘盘基片的精抛光液

权利要求书

1.一种计算机硬盘盘基片的精抛光液，包括磨料、络合剂、氧化剂、表面活性剂和水，其特征在于：上述各组分的重量百分含量为：磨料1％-10％，络合剂0.1％-5％，氧化剂0.01％-5％，表面活性剂0.001％-1％，其余为水；

所述表面活性剂为：具有协同增强效应的不同类型的阴离子表面活性剂与非离子表面活性剂的组合物；

其中，所述阴离子表面活性剂为十二烷基磺酸钠、十二烷基苯磺酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠、脂肪酸甲酯聚氧乙烯醚磺酸钠、仲烷基磺酸钠、α-烯基磺酸钠、脂肪醇聚氧乙烯醚羧酸钠、异辛醇磷酸酯、月桂醇磷酸酯中的一种或多种的组合物；

其中，所述非离子表面活性剂为吐温80、聚乙二醇400、聚乙烯吡咯烷酮、椰油脂肪酸单乙醇酰胺、烷基糖苷、异丙醇胺中的一种或多种的组合物；

其中，磨料为氧化硅、氧化铝、氧化锆、氧化铈中的一种或多种的组合物，其粒径为15-50nm；

其中，所述络合剂为乳酸、甘氨酸、柠檬酸、甲酸、乙酸中的一种或多种的组合物；

其中，所述氧化剂为双氧水或过硫酸铵；所述精抛光液还包括pH值调节剂，其含量确保计算机硬盘盘基片的精抛光液的pH值维持在1.4-3.0之间。

2.如权利要求1所述的计算机硬盘盘基片的精抛光液，其特征在于：所述磨料为氧化硅。

3.如权利要求1所述的计算机硬盘盘基片的精抛光液，其特征在于：所述水为去离子水或蒸馏水。

4.如权利要求1所述的计算机硬盘盘基片的精抛光液，其特征在于：所述pH值调节剂为盐酸、硝酸、硫酸、磷酸中的一种或几种的组合物。