[发明专利]一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法有效
申请号: | 201410174237.1 | 申请日: | 2014-04-28 |
公开(公告)号: | CN103985545B | 公开(公告)日: | 2017-02-15 |
发明(设计)人: | 石维;张选红;杨邦朝;马建华;王成兴;王兴伟 | 申请(专利权)人: | 中国振华(集团)新云电子元器件有限责任公司 |
主分类号: | H01G9/042 | 分类号: | H01G9/042 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人: | 谷庆红 |
地址: | 550018 贵州省*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 高压 电解电容器 阳极 薄膜 热处理 方法 | ||
1.一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法,其特征在于:该方法是将电化学薄膜生长和热处理工艺分为两个阶段,所述第一阶段在电化学生长过程的中段,第二阶段在薄膜达到设计的形成电压之后,其具体方法步骤如下:
(1)、先将多孔金属钽阳极置于在6‰的稀磷酸形成液中,然后将磷酸形成液升温至85℃,形成电压升至100V赋能1小时后取样放入真空干燥箱1小时;
(2)、将热处理后的样品放入真空管式炉中,抽真空至10-3Pa,对第一阶段的阳极薄膜进行热处理,热处理温度为320℃,热处理时间为2小时;
(3)、将如步骤(2)所述的第一阶段热处理结束后的阳极薄膜置于赋能槽中进行赋能,在85℃磷酸形成液中赋能到设计电压125V,取出样品进行第二阶段热处理,将样品放入真空管式炉中,抽真空至10-3Pa后冲入氮气氛中;
(4)、在如步骤(3)所述的氮气氛中热处理温度为340℃,热处理20分钟后补形成。
2.根据权利要求1所述的一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法,其特征在于:所述第一阶段的形成液与第二阶段的形成液浓度相同。
3.根据权利要求1所述的一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法,其特征在于:所述多孔钽金属阳极的容量为270μF~500μF。
4.根据权利要求1所述的一种高压钽电解电容器阳极薄膜的热处理方法,其特征在于:所述多孔钽金属阳极应用的额定电压为100V以上。
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