[发明专利]kovar合金与玻璃的焊接方法

权利要求书

1.一种kovar合金与玻璃的焊接方法，其特征在于，所述kovar合金与玻璃的焊接方法包括如下步骤：

S1.提供与玻璃进行封接的kovar合金；

S2.对提供的kovar合金进行表面抛光处理；

S3.再对经过表面抛光处理的kovar合金进行清洗，清洗后吹干备用；

S4.激光器在控制系统控制下，发射激光对kovar合金的待加工区域进行扫描重熔处理；

S5.将与kovar合金进行焊接的玻璃放置于kovar合金的加工区域上，并将kovar合金与玻璃送入管式炉中进行加热，加热时进行程序升温，加热完毕后，进行保温处理，再降温至室温。

2.根据权利要求1所述的kovar合金与玻璃的焊接方法，其特征在于，所述步骤S2中对kovar合金进行表面抛光处理时，利用砂纸对kovar合金表面进行打磨抛光。

3.根据权利要求1所述的kovar合金与玻璃的焊接方法，其特征在于，所述步骤S3中进行清洗时，首先进行超声清洗，再利用无水酒精或丙酮进行清洗。

4.根据权利要求1所述的kovar合金与玻璃的焊接方法，其特征在于，所述kovar合金的厚度为0.5mm～10mm，所述kovar合金经重熔处理后，表面粗糙度小于重熔处理前kovar合金表面粗糙度的两倍。

5.根据权利要求1所述的kovar合金与玻璃的焊接方法，其特征在于，所述步骤S4中，发射的激光的波长为800～10640nm，功率为30～700W，扫描速度为2～26mm/s。

6.根据权利要求1所述的kovar合金与玻璃的焊接方法，其特征在于，所述激光器为YAG激光器、二氧化碳激光器、或半导体激光器。

7.根据权利要求1所述的kovar合金与玻璃的焊接方法，其特征在于，所述步骤S5还包括：

S51.提供玻璃粉，将其放置于圆筒中，再将圆筒放置于压力机下，于5MPa下加压，形成玻璃块；

S52.将玻璃块放置于kovar合金的加工区域上，并将kovar合金与玻璃块送入管式炉中进行加热，加热时进行程序升温，加热完毕后，进行保温处理，再降温至室温。

8.根据权利要求1或7所述的kovar合金与玻璃的焊接方法，其特征在于，在管式炉中进行加热时，在管式炉中的匀温区进行加热，程序升温时，升温速度为4℃/min，升温至1100℃，保温100min，降温时，控制降温速率为5℃/min，至温度降低至室温时止。

9.根据权利要求1或7所述的kovar合金与玻璃的焊接方法，其特征在于，在管式炉中进行升温和降温是在大气条件下进行的。