[发明专利]一种激光微加工过程的反射式监测装置

权利要求书

1.一种激光微加工过程的反射式监测装置，包括氦氖激光器（1），其特征在于：所述氦氖激光器（1）前端发射出的探测激光束（11）发射线路上设置有工件（2），所述工件（2）的探测激光束（11）反射线路上设置有第一光电探头（3），且氦氖激光器（1）前端探测激光束（11）发射线路中部设置有激光分束片（4），通过所述激光分束片（4）将探测激光束（11）具体分成参考信号（41）和反射光信号（42），反射光信号（42）经过被工件（2）的反射后进入第一光电探头（3），所述参考光信号（41）前端设置有第二光电探头（5），参考光信号（41）直接进入第二光电探头（5），所述第一光电探头（3）上固定设置有第一数据线（6），第二光电探头（5）上固定设置有第二数据线（7），所述第一数据线（6）和第二数据线（7）之间设置有示波器（8），且第一数据线（6）和第二数据线（7）均与示波器（8）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种激光微加工过程的反射式监测装置，其特征在于：所述第一数据线（6）和第二数据线（7）载有工件信息的反射光信号通过第一数据线（6）进入示波器（8），同时参考光信号（41）通过第二数据线（7）进入示波器（8）。

3.根据权利要求1或2所述的一种激光微加工过程的反射式监测装置，其特征在于：所述氦氖激光器（1）发出的探测激光束，输出波长为632.8nm。

4.根据权利要求3所述的一种激光微加工过程的反射式监测装置，其特征在于：所述激光分束片（4）的分束比例为1:1。

5.根据权利要求4所述的一种激光微加工过程的反射式监测装置，其特征在于：所述示波器（8）为双通道示波器。