[发明专利]腔体智能压力控制系统及其压力控制方法

权利要求书

1.一种腔体智能压力控制系统，其特征在于，所述腔体智能压力控制系统包括： 

腔体，所述腔体为工艺制程腔室； 

氮气进气管路，所述氮气进气管路通过所述第一阀门与所述腔体连接，并在漏率检查时通过所述氮气进气管路向所述腔体内输入氮气； 

排气管路，所述排气管路之一端与所述腔体连接，所述排气管路之另一端与所述外界排气阀门连接； 

压力传感器，所述压力传感器设置在所述排气管路之临近所述外界排气阀门的一端，并用于检测所述外界排气阀门之排气压力； 

智能调节阀，所述智能调节阀设置在所述排气管路之介于所述腔体和所述压力传感器之间的过压管路段处； 

控制单元，所述控制单元实时接收来自所述压力传感器的压力检测信号，并根据所述压力检测信号控制所述智能调压阀之开度，以在设定时间范围内获得所述腔体的压力为760Torr。 

2.如权利要求1所述的腔体智能压力控制系统，其特征在于，所述氮气进气管路进入所述腔体的氮气流量为500slm。 

3.如权利要求1所述的腔体智能压力控制系统，其特征在于，所述排气 管路之过压管路段在当所述腔体内之压力大于大气压时，所述过压管路段之泄压阀自动开启，并对所述腔体进行泄压。 

4.如权利要求1所述的腔体智能压力控制系统，其特征在于，所述漏率检查作业，并通入氮气时，所述过压管路段之泄压阀自动开启，获得所述腔体的压力为760Torr。 

5.一种如权利要求1所述的腔体智能压力控制系统的压力控制方法，其特征在于，所述腔体智能压力控制方法包括： 

执行步骤S1：通过所述氮气进气管路向所述腔体内输入与氮气，所述氮气的流量为500slm； 

执行步骤S2：所述排气管路之过压管路段的泄压阀开启，并通过所述压力传感器实时检测所述外界排气阀门处的排气压力，当所述外界排气阀门的排气压力增加时，所述压力传感器将所述检测信号反馈至所述控制单元。 

6.执行步骤S3：所述控制单元控制所述智能调压阀之开度，使得所述排气的抽速减小，以保证流入所述腔体的氮气量大于所述排气的抽气量，从而在设定的时间内获得腔体压力为760Torr。