[发明专利]工艺制程处理方法及系统

权利要求书

1.一种工艺制程处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

根据工艺制程中各个参数的物理存储位置，将所述工艺制程中的所有参数划分为两种类型，其中，一种为工艺参数，另一种为配置参数；

工艺开始后，读取所述工艺制程中的所有参数的值；

遍历所述工艺制程中的所有参数，并根据所述参数的名称识别当前参数的类型；

若当前参数为所述配置参数，则进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值，若判断当前参数存在所述指定值，则将所述指定值发送至对应的功能模块中运行并显示。

2.根据权利要求1所述的工艺制程处理方法，其特征在于，还包括以下步骤：

若当前参数为所述工艺参数，则将当前参数的值设置到对应的硬件设备中，控制所述对应的硬件设备进行工艺。

3.根据权利要求1或2所述的工艺制程处理方法，其特征在于，在若当前参数为所述配置参数，进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值之后，还包括以下步骤：

若判断当前参数不存在所述指定值，则将预设的当前参数的默认值发送至对应的功能模块中运行并显示。

4.根据权利要求3所述的工艺制程处理方法，其特征在于，在遍历所述工艺制程中的所有参数后，还包括以下步骤：

等待工艺结束，同时监测工艺过程中所有参数的实际值是否超过配置的所述指定值或者预设的所述默认值，并根据监测结果进行相应的处理。

5.根据权利要求3所述的工艺制程处理方法，其特征在于，所述配置参数包括软硬容差、和/或超时时间、和/或稳定时间。

6.一种工艺制程处理系统，其特征在于，包括划分模块、读取模块、识别模块以及第一控制模块；

所述划分模块，用于根据工艺制程中各个参数的物理存储位置，将所述工艺制程中的所有参数划分为两种类型，其中，一种为工艺参数，另一种为配置参数；

所述读取模块，用于在工艺开始后，读取所述工艺制程中的所有参数的值；

所述识别模块，用于遍历所述工艺制程中的所有参数，并根据所述参数的名称识别当前参数的类型；

所述第一控制模块，用于在当前参数为所述配置参数时，进一步判断当前参数是否存在根据用户需求配置的指定值，若判断当前参数存在所述指定值，则将所述指定值发送至对应的功能模块中运行并显示。

7.根据权利要求6所述的工艺制程处理系统，其特征在于，还包括第二控制模块；

所述第二控制模块，用于在当前参数为所述工艺参数时，将当前参数的值设置到对应的硬件设备中，控制所述对应的硬件设备进行工艺。

8.根据权利要求6或7所述的工艺制程处理系统，其特征在于，还包括第三控制模块；

所述第三控制模块，用于在判断当前参数不存在所述指定值后，将预设的当前参数的默认值发送至对应的功能模块中运行并显示。

9.根据权利要求8所述的工艺制程处理系统，其特征在于，还包括监控模块；

所述监控模块，用于在所述识别模块遍历所述工艺制程中的所有参数后，等待工艺结束，同时监测工艺过程中所有参数的实际值是否超过配置的所述指定值或者预设的所述默认值，并根据监测结果进行相应的处理。

10.根据权利要求7所述的工艺制程处理系统，其特征在于，所述配置参数包括软硬容差、和/或超时时间、和/或稳定时间。