[发明专利]低温泵及真空排气方法

权利要求书

1.一种低温泵，其特征在于，具备：

吸附低温板，具备接收非冷凝性气体的入射的前表面和具备非冷凝性气体的吸附区域的背面；以及

反射低温板，具备与所述背面对置的非冷凝性气体的反射面，

所述吸附低温板具有多个从所述前表面贯穿至所述背面的孔。

2.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，具备：

多个低温板的排列，包括所述吸附低温板及所述反射低温板；

放射屏蔽件，包围所述多个低温板的排列；

制冷机，被构成为将所述放射屏蔽件冷却至第1冷却温度，且将所述多个低温板的排列冷却至低于所述第1冷却温度的第2冷却温度，

所述吸附低温板在所述多个低温板的排列中最靠近低温泵吸气口，所述前表面朝向所述低温泵吸气口。

3.根据权利要求1或2所述的低温泵，其特征在于，

所述吸附低温板具有10%以上70%以下的非冷凝性气体的通过概率。

4.根据权利要求1至3中任意一项所述的低温泵，其特征在于，

所述吸附低温板与所述反射低温板之间的距离为所述多个孔的孔宽度以上。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的低温泵，其特征在于，

所述多个孔的孔宽度为20mm以下。

6.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述反射低温板为放射屏蔽件的至少一部分，所述吸附低温板与所述放射屏蔽件的至少一部分相邻。

7.根据权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

所述反射低温板为与所述吸附低温板相邻且具有所述多个孔的另一吸附低温板。

8.一种低温泵，其特征在于，具备：

吸附低温板，具备接收非冷凝性气体的入射的前表面和具备非冷凝性气体的吸附区域的背面；以及

反射低温板，具备与所述背面对置的非冷凝性气体的反射面，

所述吸附低温板具有10%以上70%以下的非冷凝性气体的通过概率。

9.一种真空排气方法，其排出非冷凝性气体，所述方法的特征在于，具备以下步骤：

通过吸附低温板，将非冷凝性气体接收在所述吸附低温板与和该吸附低温板相邻的低温板之间，其中，所述吸附低温板具有10%以上70%以下的非冷凝性气体的通过概率；

利用所述相邻的低温板反射非冷凝性气体；以及

将反射后的非冷凝性气体吸附在所述吸附低温板上。