[发明专利]一种真空电镜样品真空预反应室

权利要求书

1.一种真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：包括支架（12），以及安装在支架（12）上的真空腔体（4）；真空腔体（4）的前端连接有转接套筒，转接套筒上连接有样品杆（1）；真空腔体（4）一侧并排设置有与外真空泵相连的抽气阀套装（10）和用于放出腐蚀性气体的放气阀套装（11）；真空腔体（4）的后端连接有用于通入反应气体并与外界气瓶连接的进气通道（8），进气通道（8）上设置有用于控制进气通道（8）通断的进气阀。

2.根据权利要求1所述的真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：所述的样品杆（1）为表面光洁并带有密封圈的316L不锈钢样品杆。

3.根据权利要求1所述的真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：所述的真空腔体（4）为柱状316L不锈钢腔体，且其前端设置有一端用于减小体积的过渡管（13）。

4.根据权利要求1或3所述的真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：所述的真空腔体（4）的另一侧并排设置有用于测量真空腔体内真空度的型号为KF16-2的真空热偶规（5）和用于安装传感器或真空计的不锈钢预留法兰（9）。

5.根据权利要求4所述的真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：所述的真空腔体（4）的顶部安装有观察反应进度的观察窗（6），观察窗（6）的直径为100mm，采用钢化玻璃制成。

6.根据权利要求1所述的真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：所述的连接套筒包括与真空腔体相配合并且带有密封圈的转接法兰（2），转接法兰（2）通过螺母（3）将其固定并密封于真空腔体（4）上。

7.根据权利要求1所述的真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：所述的进气阀采用型号为sw-1的进气针阀（7）。

8.根据权利要求1所述的真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：所述的抽气阀套装（10）采用型号为KF40-1的胶圈密封角阀，放气阀套装（11）采用直径为6mm、型号为cf16-1的阀门。

9.根据权利要求1所述的真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：所述的进气管道（8）的直径为8mm。

10.根据权利要求1所述的真空电镜样品真空预反应室，其特征在于：所述的支架（12）为两个间距为150mm的不锈钢支架。