[发明专利]光学器件制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及在光学设备中使用的光学器件的制造方法。

背景技术

一直以来，在光通信、测量设备、半导体激光器等光学设备中使用标准具、1/2波长板、1/4波长板等光学器件。

这些光学器件有的是通过将多片透明构件粘贴起来而构成的。

例如，若以标准具为例来进行说明，则提出了将2个透明构件接合起来而构成的气隙型光学器件（例如参照专利文献1）。

这样的光学器件在透明构件的表面设有用于接合的金属膜，并在金属膜彼此重合的状态下进行接合。

另外，还提出了例如在光透过的路径部分设置内部空间来接合多个透明构件这种状态的光学器件（例如参照专利文献1）。

在制造由多个透明构件接合而成的光学器件时，使用例如由框部、形成为内部空间形状的图案部、和将该图案部与框部连接起来的臂部所构成的掩模，在该掩模与透明构件重合的状态下在掩模的间隙中形成金属膜。

在这种情况下，由于在臂部没有设置金属膜，因此，例如专利文献2所公开的那样形成与外部连通的凹部。

现有专利文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开平09-257567号公报

专利文献2：日本专利特开平06-258611号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在这样的现有光学器件中，由于形成了将内部空间与光学器件的外部空间连通的凹部，因此，在透明构件上存在未设置金属膜的部分，从而如果长期使用，金属膜就有剥离的危险性。

另外，由于进行接合的透明构件所使用的掩模是具有同一形状的图案，因此，透明构件上未设置金属膜的部分会重叠从而形成将外部空间与内部空间连接起来的路径，因此，在高温高湿的使用环境下透明构件会出现污点。

因此，本发明的目的在于解决上述问题，提供一种能够降低剥离的危险性并能减少污点产生的光学器件。

因此，本发明的目的在于解决上述问题，提供一种能够降低剥离的危险性并使杂质难以混入的光学器件。

解决问题的技术方案

为解决上述问题，本发明的一个方式所涉及的第一观点的光学器件制造方法中，用于制造由2个透明构件接合而成的光学器件，使用第一掩模和第二掩模，其中，第一掩模由至少一个第一臂部、与该第一臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，第二掩模由设置在与所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一个第二臂部、与该第二臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成，该光学器件制造方法包括：将第一掩模重叠到具有多个成为透明构件的部分的2个透明构件片中的一个透明构件片上并在图案部与框部之间设置金属膜的第一透明构件片金属膜形成工序；将第二掩模重叠到另一个透明构件片上并在图案部与框部之间设置金属膜的第二透明构件片金属膜形成工序；使所述一个透明构件片与所述另一个透明构件片相对并在规定温度和规定压力下将它们接合的接合工序；以及将接合的所述2个透明构件片切断从而得到各个光学器件的切片工序。