[发明专利]光学器件制造方法有效
申请号: | 201410109777.1 | 申请日: | 2014-03-21 |
公开(公告)号: | CN104060221B | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 古坚由纪子;若林小太郎;石内真吾;伊东明则 | 申请(专利权)人: | 京瓷株式会社 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;G02B1/10 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人: | 宋俊寅 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 器件 制造 方法 | ||
1.一种光学器件制造方法,用于制造将2个透明构件的互相相对的平面状的主面彼此接合而成的光学器件,其特征在于,
使用第一掩模和第二掩模,其中,所述第一掩模由至少一个第一臂部、与该第一臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成,所述第二掩模由设置在与所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一个第二臂部、与该第二臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成,
所述光学器件制造方法包括:
第一透明构件片金属膜形成工序,在该第一透明构件片金属膜形成工序中,将第一掩模重叠到具有多个成为透明构件的部分的2个透明构件片中的一个透明构件片上,并在图案部与框部之间设置金属膜;
第二透明构件片金属膜形成工序,在该第二透明构件片金属膜形成工序中,将第二掩模重叠到另一个透明构件片上,并在图案部与框部之间设置金属膜;
接合工序,在该接合工序中,使所述一个透明构件片的金属膜侧与所述另一个透明构件片的金属膜侧相对,并在规定温度和规定压力下将这些透明构件片接合;以及
切片工序,在该切片工序中,将相接合的所述2个透明构件片切断而得到各个光学器件。
2.如权利要求1所述的光学器件制造方法,其特征在于,
所述第一臂部由一个臂部构成,
所述第二臂部由一个臂部构成。
3.如权利要求1所述的光学器件制造方法,其特征在于,
在所述透明构件的一个主面上设有反射膜,且在另一个主面上设有防反射膜,并且在所述防反射膜上设有所述金属膜。
4.如权利要求1所述的光学器件制造方法,其特征在于,
在设置所述金属膜时,使用溅射技术或蒸镀技术来进行。
5.一种光学器件制造方法,用于制造由2个透明构件接合而成的光学器件,其特征在于,
使用第一掩模和第二掩模,其中,所述第一掩模由至少一个第一臂部、与该第一臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成,所述第二掩模由设置在与所述第一掩模的所述第一臂部不同方向上的至少一个第二臂部、与该第二臂部相连的形成为多边形或圆形的图案部、以及与该图案部相连接的框部构成,
所述光学器件制造方法包括:
第一透明构件片金属膜形成工序,在该第一透明构件片金属膜形成工序中,将第一掩模重叠到具有多个成为透明构件的部分的2个透明构件片中的一个透明构件片上,并在图案部与框部之间设置金属膜;
第二透明构件片金属膜形成工序,在该第二透明构件片金属膜形成工序中,将第二掩模重叠到另一个透明构件片上,并在图案部与框部之间设置金属膜;
接合工序,在该接合工序中,使所述一个透明构件片的金属膜侧与所述另一个透明构件片的金属膜侧相对,并在规定温度和规定压力下将这些透明构件片接合;以及
切片工序,在该切片工序中,将相接合的所述2个透明构件片切断而得到各个光学器件,
所述第一臂部是以所述图案部为交叉部分的X字形,
所述第二臂部是以所述图案部为交叉部分的十字形。
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