[发明专利]多晶硅锭边料表面清理装置无效
申请号: | 201410107829.1 | 申请日: | 2014-03-23 |
公开(公告)号: | CN103878667A | 公开(公告)日: | 2014-06-25 |
发明(设计)人: | 张军彦;周社柱;杜海文;陈国红;张瑾 | 申请(专利权)人: | 山西中电科新能源技术有限公司 |
主分类号: | B24B27/033 | 分类号: | B24B27/033;B24B55/06 |
代理公司: | 太原华弈知识产权代理事务所 14108 | 代理人: | 李毅 |
地址: | 030032 山西省太*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多晶 硅锭边料 表面 清理 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种多晶硅锭边料表面的清理装置,特别涉及一种对多晶硅锭边料表面进行自动清理的装置。
背景技术
在多晶硅铸锭工艺过程中,多晶硅铸锭表面会粘有氮化硅等杂质,由于铸锭生产中的分凝与扩散作用,部分杂质甚至会渗透到多晶硅铸锭表面的表层,在对多晶硅铸锭开方后,会形成大量的多晶硅锭边料,多晶硅锭边料一般均要回用。为了提高回用率,一般都要对多晶硅锭边料的表面进行清理,将其表面及表层所含杂质去除。现有技术是利用喷砂或人工打磨的方法进行预处理,存在工作强度大,环境粉尘污染严重,清理质量和效率均低下的问题。
发明内容
本发明提供了一种多晶硅锭边料表面清理装置,解决了现有技术存在的环境粉尘污染严重,清理质量和效率均低下的技术问题。
本发明是通过以下技术方案解决以上技术问题的:
一种多晶硅锭边料表面清理装置,包括在一对传送滚筒上间隔地平行地布置的前传送皮带和后传送皮带,在前传送皮带与后传送皮带之间设置有中空缝隙,在中空缝隙中间隔地设置有抽风口,在传送皮带的前后两侧固定设置有两升降辊支撑架,在两升降辊支撑架上设置有一对升降辊支撑轴承,升降辊的两端设置在升降辊支撑轴承中,升降辊设置在前传送皮带和后传送皮带的正上方,在升降辊上沿辊面均布有打磨刷,升降辊转动驱动电机的输出轴通过联轴器与升降辊的一端连接在一起,在前传送皮带和后传送皮带上设置有并排挡板,在并排挡板的右侧的前传送皮带和后传送皮带上活动设置有多晶硅锭边料,多晶硅锭边料的预处理面设置在升降辊上沿辊面均布的打磨刷的下面。
在两升降辊支撑架的左侧设置有多晶硅锭边料的厚度测试传感器,在两升降辊支撑架上设置有上下方向升降的直线电机,直线电机的输出轴与升降辊支撑轴承架固定连接在一起,厚度测试传感器与直线电机电连接在一起。
本发明具有结构简单,实用性强,降低了工作现场的粉尘,还提高了清理质量。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明在俯视方向上的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明进行详细说明:
一种多晶硅锭边料表面清理装置,包括在一对传送滚筒10上间隔地平行地布置的前传送皮带1和后传送皮带2,在前传送皮带1与后传送皮带2之间设置有中空缝隙3,在中空缝隙3中间隔地设置有抽风口4,在传送皮带的前后两侧固定设置有两升降辊支撑架5,在两升降辊支撑架5上设置有一对升降辊支撑轴承,升降辊6的两端设置在升降辊支撑轴承中,升降辊6设置在前传送皮带1和后传送皮带2的正上方,在升降辊6上沿辊面均布有打磨刷7,升降辊转动驱动电机11的输出轴通过联轴器与升降辊的一端连接在一起,在前传送皮带1和后传送皮带2上设置有并排挡板8,在并排挡板8的右侧的前传送皮带1和后传送皮带2上活动设置有多晶硅锭边料12,多晶硅锭边料12的预处理面设置在升降辊6上沿辊面均布的打磨刷7的下面。
在两升降辊支撑架5的左侧设置有多晶硅锭边料12的厚度测试传感器9,在两升降辊支撑架5上设置有上下方向升降的直线电机,直线电机的输出轴与升降辊支撑轴承架固定连接在一起,厚度测试传感器9与直线电机电连接在一起。
本发明的多晶硅锭边料12的传送方向与升降辊6的转动方向是相反的,使打磨刷7与多晶硅锭边料12的表面产生摩擦力。打磨刷7与多晶硅锭边料12的接触幅度,即打磨深度可由厚度测试传感器9传来的信号经直线电机的控制器计算后,来控制升降辊6的高度,在打磨的同时开启抽风机,通过抽风口4对打磨下的粉尘进行吸除。
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