[发明专利]蓝宝石生产系统

权利要求书

1.蓝宝石生产系统，主要晶体生长炉组成，其特征在于：在所述晶体生长炉上还连接有氦气冷却循环系统，所述氦气冷却循环系统包括通过出气管连接在晶体生长炉上的冷却器、以及通过进气管连接在晶体生长炉上的氦气压缩净化机组，所述冷却器与氦气压缩净化机组通过管道连接，在所述冷却器与氦气压缩净化机组之间的管道上还设有过滤器。

2.按照权利要求1所述的蓝宝石生产系统，其特征在于：所述氦气压缩净化机组中的压缩机采用的是双转子压缩机。

3.按照权利要求1或2所述的蓝宝石生产系统，其特征在于：在所述进气管上设有流量计。

4.按照权利要求3所述的蓝宝石生产系统，其特征在于：在所述进气管上还设有流量控制器。

5.按照权利要求4所述的蓝宝石生产系统，其特征在于：在所述进气管上还设有压力表。

6.按照权利要求1或2所述的蓝宝石生产系统，其特征在于：所述氦气冷却循环系统还包括补气装置，所述补气装置包括连接在进气管上的高压充气管，在所述高压充气管上设有高压充气阀。

7.按照权利要求6所述的蓝宝石生产系统，其特征在于：在所述进气管上还设有位于高压充气管与晶体生长炉之间的送气阀。

8.按照权利要求6所述的蓝宝石生产系统，其特征在于：所述补气装置还包括设置在氦气压缩净化机组与过滤器之间的低压充气管，在所述低压充气管上还设有由低压充气阀以及回气逆止阀组成的低压补气阀组。

9.按照权利要求8所述的蓝宝石生产系统，其特征在于：在所述低压充气管与过滤器之间还设有由回气阀以及回气逆止阀组成的回气阀组。

10.按照权利要求9所述的蓝宝石生产系统，其特征在于：在所述冷却器上分别设有用于冷却水流通的进水管以及出水管。