[发明专利]形状测量设备

权利要求书

1.一种形状测量设备，包括：

照射部，用于利用线状的线激光来照射工件，所述照射部包括：

光源，用于生成激光；

第一光学构件，用于使来自所述光源的激光线状地散开，并且生成线激光；以及

第二光学构件，其设置在所述光源和所述第一光学构件之间，并且用于调整所述工件上的线激光的照射面积；

第一传感器，用于接收所述工件所反射的线激光，并且拍摄所述工件的图像；

透镜，用于在所述第一传感器的摄像面上形成所述工件所反射的线激光的图像；以及

控制部，用于通过控制所述第二光学构件的焦距来控制对所述工件上的线激光的照射面积的调整，以使得从所述摄像面延长的第一面、从所述透镜的主平面延长的第二面、以及从线激光的照射面延长的第三面相交在一个点处，

其中，所述第二光学构件是焦距能够调整的透镜，

其中，所述控制部基于所述线激光的照射位置的平均值来调整所述焦距。

2.根据权利要求1所述的形状测量设备，其中，

随着所述工件上的线激光的照射位置越接近所述光源，所述控制部将所述焦距调整得越短。

3.一种形状测量设备，包括：

照射部，用于利用线状的线激光来照射工件，所述照射部包括：

光源，用于生成激光；

第一光学构件，用于使来自所述光源的激光线状地散开，并且生成线激光；以及

第二光学构件，其设置在所述光源和所述第一光学构件之间，并且用于调整所述工件上的线激光的照射面积，其中，所述第二光学构件是开口直径能够调整的光圈；

第一传感器，用于接收所述工件所反射的线激光，并且拍摄所述工件的图像；

透镜，用于在所述第一传感器的摄像面上形成所述工件所反射的线激光的图像；以及

控制部，用于通过控制所述光圈的开口直径来控制对所述工件上的线激光的照射面积的调整，以使得从所述摄像面延长的第一面、从所述透镜的主平面延长的第二面、以及从线激光的照射面延长的第三面相交在一个点处，其中，所述控制部基于所述线激光的照射位置的平均值来调整所述开口直径。

4.根据权利要求3所述的形状测量设备，其中，

随着所述工件上的线激光的照射位置越接近所述光源，所述控制部将所述开口直径调整得越小。

5.一种形状测量设备，包括：

照射部，用于利用线状的线激光来照射工件，所述照射部包括：

光源，用于生成激光；

第一光学构件，用于使来自所述光源的激光线状地散开，并且生成线激光；以及

第二光学构件，其设置在所述光源和所述第一光学构件之间，并且用于调整所述工件上的线激光的照射面积，其中，所述第二光学构件是间隙能够调整的狭缝；

第一传感器，用于接收所述工件所反射的线激光，并且拍摄所述工件的图像；

透镜，用于在所述第一传感器的摄像面上形成所述工件所反射的线激光的图像；以及

控制部，用于通过控制所述狭缝的间隙来控制对所述工件上的线激光的照射面积的调整，以使得从所述摄像面延长的第一面、从所述透镜的主平面延长的第二面、以及从线激光的照射面延长的第三面相交在一个点处，

其中，所述控制部基于所述线激光的照射位置的平均值来调整所述间隙。

6.根据权利要求5所述的形状测量设备，其中，

随着所述工件上的线激光的照射位置越接近所述光源，所述控制部将所述间隙调整得越小。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的形状测量设备，其中，

所述第一传感器包括沿着第一方向和第二方向的二维阵列的像素传感器，

所述第一方向是线激光的延伸方向，并且所述第二方向是与所述第一方向垂直的方向，以及

所述控制部基于在所述第一传感器的摄像面上进行了摄像的线激光来调整所述第二光学构件。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的形状测量设备，其中，还包括：

第二传感器，用于接收所述工件所反射的线激光，并且拍摄所述工件的图像，

其中，所述第二传感器一维地对光在第一方向上的位置进行检测，

所述第一方向是与线激光的延伸方向垂直的方向，以及

所述控制部基于在所述第二传感器的摄像面上进行了摄像的线激光来调整所述第二光学构件。