[发明专利]具有减小电场畸变功能的容性探针装置

权利要求书

1.一种具有减小电场畸变功能的容性探针装置，其特征在于，包括：

真空腔体结构(110)，呈筒状；

绝缘陶瓷筒(120)，固定于真空腔体结构110的内侧；

电子注感应环(130)，呈环状，由金属导电材料制备，固定于所述绝缘陶瓷筒(120)内侧的中部；

至少一电场改善环，呈环状，由金属导电材料制备，固定于所述绝缘陶瓷筒(200)内侧的上部或下部，该电场改善环与所述电子注感应环(130)绝缘，与所述真空腔体结构(110)等电位；以及

引线转接组件(150)，用于将由所述电子注感应环(130)的感应信号引出所述真空腔体结构(110)外。

2.根据权利要求1所述的容性探针装置，其特征在于，所述电场改善环由无氧铜材料制备，其内径与所述电子注感应环(130)的内径相同。

3.根据权利要求1所述的容性探针装置，其特征在于，所述电场改善环包括：

前电场改善环(141)和后电场改善环(142)，分别固定于所述绝缘陶瓷筒(200)内侧的上部和下部。

4.根据权利要求3所述的容性探针装置，其特征在于，所述电场改善环与所述电子注感应环之间的轴向距离L满足：0.2mm≤L≤2mm。

5.根据权利要求4所述的容性探针装置，其特征在于，所述L＝0.5mm。

6.根据权利要求3所述的容性探针装置，其特征在于，在所述绝缘陶瓷筒(120)的内侧具有三个槽状结构，所述前电场改善环(141)、电子注感应环(130)和后电场改善环(142)分别容置于该三个槽状结构内。

7.根据权利要求6所述的容性探针装置，其特征在于，所述前电场改善环(141)、电子注感应环(130)和后电场改善环(142)分别钎焊于所述绝缘陶瓷筒(120)的三个槽状结构内。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的容性探针装置，其特征在于，所述引线转接组件(150)包括：

真空绝缘馈电头(151)，安装于所述真空腔体结构(110)上，其内导体穿过所述真空腔体结构(110)和绝缘陶瓷筒(120)，钎焊于所述电子注感应环(130)中部的外侧；以及

外电磁屏蔽罩(152)，固定于所述真空腔体结构(110)上并与地良好接触，屏蔽于真空绝缘馈电头(151)伸出所述真空腔体结构(110)部分的外围。

9.根据权利要求8所述的容性探针装置，其特征在于，所述引线转接组件还包括：

同轴屏蔽插头(153)，其内导线连接于所述真空绝缘馈电头(151)的内导体，其屏蔽层与地良好接触，用于将所述电子注感应环(130)得到的感应信号引至外界的测试设备。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的容性探针装置，其特征在于，所述真空腔体结构(110)由无磁不锈钢材料制备，所述绝缘陶瓷筒(120)由氧化铝陶瓷材料制备。