[发明专利]微纳米散斑的制备方法和系统

权利要求书

1.一种微纳米散斑的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

生成预设数量的散斑颗粒大小和/或散斑数目不同的数字散斑图，并从中选取至少一幅所述数字散斑图作为散斑模板，其中，所述数字散斑图为二值图；

对待处理试件和目标试件的待处理区域进行预处理，其中，所述目标试件与所述待处理试件的材质相同；

将所述散斑模板导入散斑沉积设备；

对所述待处理试件的待处理区域进行对焦，以获取当前放大倍数下的最优参数组；

根据所述最优参数组调节所述散斑沉积设备，并根据所述散斑模板在所述目标试件的待处理区域沉积散斑。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述生成预设数量的散斑颗粒大小和/或散斑数目不同的数字散斑图，并选取散斑模板具体包括：

根据图像的平均灰度梯度从所述数字散斑图中选取所述散斑模板，其中，所述图像的平均灰度梯度为：

δf=Σi=1WΣj=1H|▿f(xij)|W×H]]>

其中，W和H分别为像素值表示的图像的宽度和高度；为每个像素点灰度梯度矢量的模；f_x(x_ij)和f_y(x_ij)分别为像素点x_ij在x-和y-方向的灰度导数。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述待处理试件的待处理区域进行对焦，以获取当前放大倍数下的最优参数组进一步包括：

调节所述散斑沉积设备的参数值，根据所述散斑模板在所述待处理试件的所述待处理区域沉积多个散斑图像，其中，所述散斑沉积设备的参数包括沉积总时间、点停留时间和束流强度；

根据所述多个散斑图像获取最优散斑图像，并记录与所述最优散斑图像对应的参数值，作为在当前放大倍数下的最优参数组。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述对所述待处理试件的待处理区域进行对焦，以获取当前放大倍数下的最优参数组之前，还包括：

调节所述散斑沉积设备的放大倍数，以将所述散斑图像的调节至所需大小。

5.如权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述散斑沉积设备为聚焦离子束设备。

6.一种微纳米散斑的制备系统，其特征在于，包括：

模板生成模块，用于生成预设数量的散斑颗粒大小和/或散斑数目不同的数字散斑图，并从中选取至少一幅所述数字散斑图作为散斑模板，其中，所述数字散斑图为二值图；

预处理模块，用于对待处理试件和目标试件的待处理区域进行预处理，其中，所述目标试件与所述待处理试件的材质相同；

模板导入模块，用于将所述散斑模板导入散斑沉积设备；

对焦模块，用于对所述待处理试件的待处理区域进行对焦，以获取当前放大倍数下的最优参数组；

沉积模块，用于根据所述散斑模板和所述最优参数组在经过所述预处理的目标试件的待处理区域沉积散斑。