[发明专利]剥离装置以及剥离方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于使相互紧贴的两张板状体剥离并分离的剥离装置以及剥离方法。

背景技术

作为在玻璃基板、半导体基板等板状体上形成规定的图案或薄膜的技术，将担载于其它板状体的图案或薄膜（下面，称为“图案等”）转印至基板。在该技术中，在使两张板状体紧贴来将图案等从一方转印至另一方之后，需要在不损坏图案等的情况下将两张板状体剥离。

为了该目的，例如在日本特开2008-287949号公报所记载的技术中，将粘接的两张基板保持为水平姿势，在对上下板分别进行真空吸附的状态下，使上下板分别向分离方向移动。此时，通过使局部吸附上侧基板的多个吸附垫从基板的一端部侧起依次上升，使剥离从基板的一端朝向另一端地进行。而且，公开了如下结构：为了在剥离初始阶段引发基板的分离，顶起一个基板的端部的结构。另外，在日本特开2003-072123号公报中记载了如下技术，即，为了取出载置于载物台上的板，向载物台和板之间插入楔状剥离爪来在两者之间形成间隙。

这种转印技术应用于各种器件制造工序中。随着图案等材料的多样化、图案的微细化、基板的大型化等，需要在剥离工艺中进行更细致的移动管理。在剥离工艺中，在两张板状体之间，通过使已剥离区域和未剥离区域之间的边界线向未剥离区域侧移动，最终使整体剥离。当该边界线的移动速度，即剥离速度发生变动时，容易因应力集中而使图案等损坏。尤其，在剥离工艺的初始阶段，由于边界线的形状不稳定，因此容易因边界线的形状变化而使剥离速度发生变动。

但是，在上述现有技术中，并未构成能够这样严格管理剥离速度的结构，尤其无法抑制因边界线的局部形状变化使剥离速度发生变动的情况。因此，从防止图案等损坏的方面来说，上述现有技术还存在改进的余地。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种技术，在用于使相互紧贴的两张板状体剥离来分离的剥离装置以及剥离方法中，即使在两张板状体之间担载有图案等的情况下，也能够在不损坏该图案等的情况下，良好地使两张板状体剥离。

本发明的剥离装置的一个方式为，用于将相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离，为了达到上述目的，具有：第一保持单元，其用于保持所述第一板状体；剥离开始单元，其通过使所述第一板状体的一端部向与所述第二板状体相反的方向弯曲成柱面状，使所述第二板状体中的与所述第一板状体紧贴的紧贴区域的局部转换为所述第一板状体被剥离的剥离区域，并在所述紧贴区域和所述剥离区域之间的边界处形成一条且直线状的边界线；第二保持单元，其用于保持形成有所述剥离区域的所述第二板状体；分离单元，其使所述第一保持单元和所述第二保持单元之间的间隔增大，来使所述第一板状体和所述第二板状体分离。

另外，本发明的剥离方法的一个方式为，使相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离的剥离方法，为了达到上述目的，包括：边界线形成工序，使所述第一板状体的一端部向与所述第二板状体相反的方向弯曲成柱面状，将所述第二板状体中的与所述第一板状体紧贴的紧贴区域的局部转换为所述第一板状体被剥离的剥离区域，在所述紧贴区域和所述剥离区域之间的边界处形成一条且直线状的边界线；剥离工序，使所述第一板状体和所述第二板状体向分离方向相对移动，一边将所述边界线维持为直线状，一边向所述紧贴区域侧移动。

在这样构成的发明中，在使相互紧贴的第一板状体和第二板状体分离之前，通过使其中的一者的第一板状体的一端部向与第二板状体相反的一侧弯曲，来引发剥离。此时，通过使第一板状体弯曲成柱面状，使紧贴区域和剥离区域之间的边界线形成直线状。这样通过使初始阶段的边界线形成直线状，能够在使第一板状体和第二板状体分离的过程中，使直线状边界线向紧贴区域侧移动，从而能够抑制因边界线的形状变动而使剥离速度变化的情况。因此，在本发明中，能够更严格地管理剥离速度来进行剥离，例如即使在两张板状体之间担载有图案或薄膜（下面，称为“图案等”）的情况下，也能够在不损坏该图案等的情况下进行剥离。