[发明专利]数据转换方法、描画系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种将图形要素的矢量数据转换为扫描宽度数据的技术。

背景技术

以往以来，通过向在半导体基板、印刷基板、或者等离子显示装置、液晶显示装置用的玻璃基板等(以下，称为“基板”)形成的感光材料照射光，来描画图案。近年来，伴随着图案的高清化，使用一种在感光材料上利用光束扫描来直接描画图案的图案描画装置。

在设计阶段，通常，利用CAD(计算机辅助设计)数据等的矢量数据表现这种图案，在利用图案描画装置描画图案时，进行如下的光栅图像处理(RIP：Raster Image Processing)：将该矢量数据转换成能够被图案描画装置使用的扫描宽度数据(run length data)等的光栅数据。

例如，在日本特开2006-350013号公报(文献1)中，提出了将Gerber(PCB行业的工业标准)数据转换成栅格数据的图像处理装置。在该装置中，就Gerber数据而言，在通过对层叠的多个图层图形相加或者相减来表示目标图像(配线图案)的情况下，判断图层数是否超过上限，在超过上限的情况下，将错误类型信息存储在存储器内。在该装置中，图像被减去的部分为不进行描画的中空区域，图像被叠加的部分为进行描画的填涂(中涂层)区域。

另一方面，在专利第2659584号公报(文献2)中，公开了在表示填涂区域与中空区域的边界的闭环数很多的情况下所使用的图形填涂方法。在该方法中，首先，利用与扫描线平行延伸的多个线段填涂所有填涂区域的轮廓(即，外周缘)内侧的整体区域。此后，在求出各填涂线段与所有的中空区域的轮廓之间的交点之后，去掉各填涂线段中的存在于中空区域内的部分，使图形变为中空。

在此，若将文献2的方法替换成像文献1那样的对图层图形进行加减的方法，则文献2的方法相当于如下的方法：将表示所有填涂区域的轮廓的图层图形转换成填涂扫描宽度数据，将表示所有的中空区域的轮廓的图层图形转换成中空扫描宽度数据，将填涂扫描宽度数据减去中空扫描宽度数据。在这种方法中，需要创建与各图层图形对应的扫描宽度数据的中间文件，若表示一个图形要素的图层图形组的层叠数量增加，则中间文件的数量也变大。

近年来，在半导体基板等上描画的图案用的CAD数据有由数万的图层图形层叠而成的数据。若利用像文献2那样的方法将这种CAD数据转换为栅格数据，则数据转换需要大量的时间。

发明内容

本发明提供一种将作为图形要素的矢量数据的要素输入数据转换为作为扫描宽度数据的要素输出数据的数据转换方法。本发明还提供一种在基板上描画图案的描画系统。本发明还提供一种记录将作为图形要素的矢量数据的要素输入数据转换为作为扫描宽度数据的要素输出数据的程序的记录介质。本发明的目的在于缩短数据转换所需的时间。