[发明专利]光取向用偏振光照射装置和光取向用偏振光照射方法

权利要求书

1.一种光取向用偏振光照射装置，其特征在于，具备：

照射单元，向所设定的照射区域照射偏振光；

台，载置基板；以及

台移动机构，通过使台向照射区域移动，使得向台上的基板照射偏振光，

作为台，设置有第一台和第二台这两个台，

台移动机构使第一台从设定于照射区域的一侧的第一基板搭载位置向照射区域移动，并且使第二台从设定于照射区域的另一侧的第二基板搭载位置向照射区域移动，

台移动机构在第一台上的基板经过照射区域之后使第一台返回到第一侧，并且在第二台上的基板经过照射区域之后使第二台返回到第二侧，

在位于第一基板搭载位置的第一台与照射区域之间确保第二台上的基板经过照射区域的量以上的空间，在位于第二基板搭载位置的第二台与照射区域之间确保第一台上的基板经过照射区域的量以上的空间。

2.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述照射单元在所述第一台和第二台的各台进行去路移动时和进行回路移动时这双方向各台上的基板照射偏振光。

3.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

在所述第一台和第二台的各台上设置有基板校准器，该基板校准器使所搭载的基板的朝向相对于被照射的偏振光的偏振轴成为规定的朝向。

4.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述台移动机构沿着所述第一台和第二台的移动方向具备导向构件，该导向构件兼用于所述第一台的移动的导向和所述第二台的移动的导向。

5.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述第一台和第二台的各台是具有吸附孔的多个销。

6.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述第一台和第二台的各台具备XYθ移动机构。

7.根据权利要求3所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，

所述基板校准器具备校准传感器、XYθ移动机构及校准用控制部。

8.一种光取向用偏振光照射方法，使用权利要求1至6中的任一项所述的光取向用偏振光照射装置向基板照射光取向用的偏振光，该光取向用偏振光照射方法的特征在于，具有：

第一基板搭载步骤，在所述第一基板搭载位置处，在所述第一台上搭载基板；

第二基板搭载步骤，在所述第二基板搭载位置处，在所述第二台上搭载基板；

第一移动步骤，使搭载了基板的所述第一台从所述第一基板搭载位置移动，在基板经过所述照射区域之后，使所述第一台返回到设定于所述一侧的第一基板回收位置；

第二移动步骤，使搭载了基板的所述第二台从所述第二基板搭载位置移动，在基板经过所述照射区域之后，使所述第二台返回到设定于所述另一侧的第二基板回收位置；

第一基板回收步骤，在第一基板回收位置处从所述第一台回收基板；以及

第二基板回收步骤，在第二基板回收位置处从所述第二台回收基板，

进行第一基板回收步骤和第一基板搭载步骤的时间段与进行第二移动步骤的时间段全部或一部分重叠，

进行第二基板回收步骤和第二基板搭载步骤的时间段与进行第一移动步骤的时间段全部或一部分重叠。

9.根据权利要求8所述的光取向用偏振光照射方法，其特征在于，

在第一基板搭载步骤与第一移动步骤之间，具有向XYθ方向移动第一台来进行基板的对位的第一对位步骤，

在第二基板搭载步骤与第二移动步骤之间，具有向XYθ方向移动第二台来进行基板的对位的第二对位步骤，

进行第一对位步骤的时间段与进行第二移动步骤的时间段全部或一部分重叠，

进行第二对位步骤的时间段与进行第一移动步骤的时间段全部或一部分重叠。