[发明专利]一种定位精度的检测方法及装置有效

专利信息
申请号: 201410028613.6 申请日: 2014-01-21
公开(公告)号: CN104786103B 公开(公告)日: 2017-11-03
发明(设计)人: 周才平;刘飞;赵富豪;高云峰 申请(专利权)人: 大族激光科技产业集团股份有限公司
主分类号: B23Q17/24 分类号: B23Q17/24
代理公司: 深圳中一专利商标事务所44237 代理人: 张全文
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 定位 精度 检测 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种定位精度的检测方法,其特征在于,所述方法包括:

获取包含第一旋转角度的运动指令;

根据所述运动指令控制滑台进行旋转运动,以所述第一旋转角度定位所述滑台的旋转运动;

通过光栅尺测量所述滑台在所述旋转运动后实际旋转至的第二旋转角度;

计算所述第二旋转角度与所述第一旋转角度之间的误差;

所述旋转运动以旋转轴为中心进行,

所述运动指令还包含所述旋转轴的老化参数信息,

所述根据所述运动指令控制滑台进行旋转运动还包括:

控制滑台以所述旋转轴为中心进行旋转运动,所述旋转轴经过了依据所述老化参数信息进行的老化处理;

所述老化参数信息包括以下至少一项:

老化模式、老化时间和老化速度;

所述老化模式包括正转、反转和正反转交替,所述老花时间为预设小时,所述老化速度为预设转速。

2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述运动指令还包含旋转方向和旋转速度,

所述根据所述运动指令控制滑台进行旋转运动还包括:

控制滑台以所述旋转速度往所述旋转方向进行旋转运动。

3.如权利要求1~2任一项所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:

如果所述误差大于预设误差值,启动报警提示。

4.一种定位精度的检测装置,其特征在于,所述装置包括:

获取单元,用于获取包含第一旋转角度的运动指令;

控制单元,用于根据所述运动指令控制滑台进行旋转运动,以所述第一旋转角度定位所述滑台的旋转运动;

测量单元,用于通过光栅尺测量所述滑台在所述旋转运动后实际旋转至的第二旋转角度;

计算单元,用于计算所述第二旋转角度与所述第一旋转角度之间的误差;

所述旋转运动以旋转轴为中心进行,

所述运动指令还包含所述旋转轴的老化参数信息,

所述控制单元具体用于控制滑台以所述旋转轴为中心进行旋转运动,所述旋转轴经过了依据所述老化参数信息进行的老化处理;

所述老化参数信息包括以下至少一项:

老化模式、老化时间和老化速度;

所述老化模式包括正转、反转和正反转交替,所述老花时间为预设小时,所述老化速度为预设转速。

5.如权利要求4所述的装置,其特征在于,所述运动指令还包含旋转方向和旋转速度,

所述控制单元具体用于控制滑台以所述旋转速度往所述旋转方向进行旋转运动。

6.如权利要求4~5任一项所述的装置,其特征在于,所述装置还包括:

报警单元,用于如果所述误差大于预设误差值,启动报警提示。

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