[发明专利]单岛多电极石英加速度计

权利要求书

1.一种单岛多电极石英加速度计，由起支撑作用的底座(1)与外壳(2)由螺钉(9)紧密配合装配成腔体，检测用的敏感元件(3)用螺钉(10)安装在底座 (1)上，电路板(5)由电路板支撑螺柱(6)支撑，并由电路板螺钉(7)紧固于敏感元件(3)上，航空插座(4)由螺钉(8)安装在外壳(2)上，电源及信号由电缆从航空插座(4)进出；敏感元件(3)由单岛基座(11)、中央单岛(14)、限位螺钉(12-1、12-2)、多电极力敏谐振器(13-1、13-2)及密封罩(16)构成；

其敏感元件(3)的结构特征是：单岛基座(11)和密封罩(16)由密封螺钉(17)紧固构成密封腔体，腔体内有中央单岛(14)及两个多电极力敏谐振器(13-1、13-2)，单岛基座(11)与中央单岛(14)由一体加工而成，中央单岛(14)将敏感元件的腔体分为对称的左右两个小腔体，两个多电极力敏谐振器(13-1、13-2)对称地镶嵌在中央单岛(14)两侧的两个小腔体中，多电极力敏谐振器(13-1、13-2)的一边与中央单岛(14)中部的支撑平台(14-2、14-3)焊接，另一边与单岛基座(11)中部的支撑平台(11-1、11-2)焊接，单岛基座(11)上部的左右两端有限位螺钉(12-1、12-2)，限位螺钉(12-1、12-2)镶嵌在单岛基座(11)上部对应的限位螺母孔(11-3、11-4)内，并由紧定螺钉(15-1、15-2)紧定；

其敏感元件(3)的多电极力敏谐振器(13-1、13-2)的结构特征是：多电极力敏谐振器(13-1、13-2)的基片为石英晶体圆薄片，同一个基片上的电极对数为两对或两对以上，电极位置在基片上的分布可以是对称分布或非对称分布。

2.如权利要求1所述的单岛多电极石英加速度计，其敏感元件(3)的单岛基座(11)及中央单岛(14)的结构特征是：单岛基座(11)与中央单岛(14) 由一体加工而成，中央单岛(14)的下部与单岛基座(11)的连接处(14-1)为柔性连接，中央单岛(14)的中部左右两侧有镶嵌多电极力敏谐振器(13-1、13-2)的对称中央单岛谐振器支撑平台(14-2、14-3)，中央单岛(14)的上部为惯性质量块(14-4)；单岛基座(11)的底部有4个电机引线孔(11-5)、2个安装螺母孔(11-6)、引线槽(11-7)，单岛基座(11)的中部左右两侧有镶嵌多电极力敏谐振器(13-1、13-2)的对称支撑平台(11-1、11-2)，单岛基座(11)的上部左右两侧有安装限位螺钉(12-1、12-2)的限位螺母孔(11-3、11-4)，单岛基座(11)的左右两侧有安装密封罩(16)的8个紧定螺母孔(11-8)。