[发明专利]曝光用LED光源装置及曝光用LED光源装置管理系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种PCB(印刷电路板)基板、半导体晶片或显示面板(DisplayPanel)曝光用光源装置，涉及包括多个光源单元的光源装置及能够有效地管理该光源装置的管理系统，其中，光源单元将LED(LightEmittingDiode，发光二极管)作为光源。

背景技术

在PCB基板、半导体晶片或显示面板的制造工序中，执行选择性地去除涂覆于晶片及基板的表面的PR(光刻胶)等的曝光作业。虽然过去使用了超高压水银灯、卤素灯而作为用于曝光的光源，但这些灯光源发生使用寿命问题、高电压问题、费用问题、环境问题。因此，最近在开发使用LED(LightEmittingDiode)而构成曝光装置的技术。

韩国公开专利第2011-0058501号公开了一种曝光用LED灯及利用了该灯的曝光装置。图1中图示有适用了根据现有技术的曝光用LED灯的曝光装置。

参考图1，利用紫外线光源而在玻璃基板的所期望的部分形成电路图案的曝光装置，由在形成有电路图案的PCB基板上一定地排列LED元件而对因LED元件的发光而产生的热进行冷却的机构构成，且构成为包括：曝光用LED灯单元，其使曝光用光源发光；保护玻璃，其保护曝光用LED灯单元的LED元件；复眼透镜(FlyeyeLens)，其使因曝光用LED灯单元的照明而产生的不稳定的紫外线光即曝光用光源变化为均匀的光源；一次聚光透镜(CondenserLens)，其使通过复眼透镜而均匀地变化的散射光形态的光源初步地形成为平行光形态；二次聚光透镜(CondenserLens)，其使通过一次聚光透镜而初步地形成为平行光形态的光源聚光成精确的平行光而照射到玻璃基板；以及掩模，其使紫外光能够仅曝光于玻璃基板的所期望的部分。

然而，这些现有技术的曝光装置由于利用具有单一波长的UVLED而构成曝光装置，因此，难以均匀地照射光束，从而难以使电路能够通过掩模而在涂布有多种形态的薄膜及油墨的PCB覆铜板上共形化。

并且，由于曝光用LED灯单元的大小一开始就已被确定，因此，难以使曝光装置的大小与各种大小的曝光对象物相应地变化，且存在不能构成大面积曝光装置之类的问题。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：韩国公开专利第2011-0058501号

发明内容

技术问题

本发明是鉴于上述问题而发明的，其目的在于提供一种对于多种形态及大小的曝光对象物能够容易地实施曝光的曝光用LED光源装置及曝光用LED光源装置管理系统。

解决问题方案

旨在达到上述目的的本发明的一个实施方式是一种曝光用LED光源装置，该装置包括：多个LED光源模块，其包括多个LED光源单元；控制部，其分别控制向上述多个LED光源模块的上述多个LED光源单元供给的电流的大小而确定到达曝光区域的光的强度，并控制供电和断电；电源供给部，其在上述控制部的控制下向上述多个LED光源模块供给电流；显示部，其向用户显示上述多个LED光源模块各自的工作状态及供给电流值；以及键操作部，其对上述控制部输入用户的外部命令，以控制向上述多个LED光源模块供给的电流的大小。

此时，理想的是，上述多个LED光源模块以矩阵形态排列，上述LED光源模块内的上述多个LED光源单元以矩阵形态排列。

而且，上述LED光源模块内的上述多个LED光源单元能够由波长互不相同的两种LED光源单元构成。此时，上述LED光源模块内的上述多个LED光源单元能够以3×3矩阵形态排列，而中央部的1个LED光源单元能够具有405nm的波长，周边部的8个LED光源单元能够具有365nm的波长。理想的是，将上述405nmLED光源单元构成为大于上述365nmLED光源单元，以使上述1个405nmLED光源单元的光束与上述8个365nmLED光源单元的光束均叠加而能够成为合成波长。

尤其，理想的是，上述控制部对于上述LED光源模块的波长互不相同的两种LED光源单元执行二组双重控制。而且，理想的是，控制部将LED的照射面积调节成大于LED的大小，以防以矩阵形态排列的上述多个LED光源单元之间的光束叠加部的输出降低。

而且，上述LED光源单元能够包括：LED光源，其产生强度由供给电流所控制的光；LED基板，其形成有电路图案且其上配置上述LED光源；一次透镜，其对于从上述LED光源放射的光束执行角度校正；二次透镜，其对于通过了上述一次透镜的光束执行聚光会聚；以及单元主体，其对于上述LED光源、上述LED基板、上述一次透镜、以及上述二次透镜提供外壳。