[发明专利]曝光用LED光源装置及曝光用LED光源装置管理系统在审
申请号: | 201380080563.X | 申请日: | 2013-11-05 |
公开(公告)号: | CN105765459A | 公开(公告)日: | 2016-07-13 |
发明(设计)人: | 洪珍杓;李在庆;金明珍;吴玿永;沈铉昌;闵圣琇;赵洧章;洪玉杓 | 申请(专利权)人: | (株)茵匹泰克 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H01L21/027;H05B37/02 |
代理公司: | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人: | 朱健;陈国军 |
地址: | 韩国忠清北道清州市兴德*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光 led 光源 装置 管理 系统 | ||
1.一种曝光用LED光源装置,其特征在于,包括:
多个LED光源模块,其包括多个LED光源单元;
控制部,其分别控制向上述多个LED光源模块的上述多个LED光源单元供给的电流的大小而确定到达曝光区域的光的强度,并控制供电和断电;
电源供给部,其在上述控制部的控制下向上述多个LED光源模块供给电流;
显示部,其向用户显示上述多个LED光源模块各自的工作状态及供给电流值;以及,
键操作部,其对上述控制部输入用户的外部命令,以控制向上述多个LED光源模块供给的电流的大小。
2.根据权利要求1所述的曝光用LED光源装置,其特征在于,
上述多个LED光源模块以矩阵形态排列。
3.根据权利要求1所述的曝光用LED光源装置,其特征在于,
上述LED光源模块内的上述多个LED光源单元以矩阵形态排列。
4.根据权利要求3所述的曝光用LED光源装置,其特征在于,
上述LED光源模块内的上述多个LED光源单元由波长互不相同的两种LED光源单元构成。
5.根据权利要求4所述的曝光用LED光源装置,其特征在于,
上述LED光源模块内的上述多个LED光源单元以3×3矩阵形态排列,而中央部的1个LED光源单元具有405nm的波长,周边部的8个LED光源单元具有365nm的波长。
6.根据权利要求5所述的曝光用LED光源装置,其特征在于,
将上述405nmLED光源单元构成为大于上述365nmLED光源单元,以使上述1个405nmLED光源单元的光束与上述8个365nmLED光源单元的光束均叠加而能够成为合成波长。
7.根据权利要求4所述的曝光用LED光源装置,其特征在于,
上述控制部对于上述LED光源模块的波长互不相同的两种LED光源单元执行二组双重控制。
8.根据权利要求1所述的曝光用LED光源装置,其特征在于,
上述LED光源单元包括:
LED光源,其产生强度由供给电流所控制的光;
LED基板,其形成有电路图案且其上配置上述LED光源;
一次透镜,其对于从上述LED光源放射的光束执行角度校正;
二次透镜,其对于通过了上述一次透镜的光束执行聚光会聚;以及,
单元主体,其对于上述LED光源、上述LED基板、上述一次透镜、以及上述二次透镜提供外壳。
9.根据权利要求3所述的曝光用LED光源装置,其特征在于,
上述控制部将LED的照射面积调节成大于LED的大小,以防以矩阵形态排列的上述多个LED光源单元之间的光束叠加部的输出降低。
10.一种曝光用LED光源装置管理系统,其特征在于,包括:
曝光用LED光源装置;以及,
中央管理服务器,
上述曝光用LED光源装置包括:多个LED光源模块,其包括多个LED光源单元;控制部,其分别控制向上述多个LED光源模块的上述多个LED光源单元供给的电流的大小而确定到达曝光区域的光的强度,并控制供电和断电;电源供给部,其在上述控制部的控制下向上述多个LED光源模块供给电流;显示部,其向用户显示上述多个LED光源模块各自的工作状态及供给电流值;以及键操作部,其对上述控制部输入用户的外部命令,以控制向上述多个LED光源模块供给的电流的大小,
上述中央管理服务器通过有线、无线通信网而远程综合控制、管理分别设置于多个曝光设备的各上述曝光用LED光源装置。
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