[发明专利]X线装置及构造物的制造方法

说明书

提供一种可抑制检测精度降低的装置及构造物的制造方法。检测装置(1)是对被测定物(S)照射X线并检测通过被测定物的X线的装置，包含射出X线的X线源、保持被测定物的桌台(3)、检测从X线源射出并通过被测定物的穿透X线的至少一部分的检测器(4)、以及一边支承桌台一边引导桌台往与X线源的光轴(Zr)平行的方向移动的第1引导装置(5A)及第2引导装置(5B)。检测装置，其与光轴(Zr)平行、且用以规定桌台的移动的平面的引导面(GP)，通过检测器的穿透X线的检测区域(DR)内。

技术领域

本发明是关于X线装置及构造物的制造方法。

背景技术

作为以非破坏方式取得物体内部信息的装置，例如有下述记专利文献所记载的对物体照射X线，并检测通过该物体的穿透X线的X线装置。

[先行技术文献]

[专利文献1]美国专利申请公开第2009/0268869号说明书

发明内容

发明欲解决的课题

对检测装置而言，必须提升测量支承物体移动的桌台在移动方向的位置的测量装置，其决定移动方向的位置的精度。检测装置中，当引导支承物体移动的桌台的装置的位置、与检测穿透过物体的穿透X线的检测器的检测位置过于分离时，桌台测定位置的定位精度即有降低的可能性。其結果，检测精度即有可能降低。

本发明的态样，其目的在提供一种能抑制检测精度降低的X线装置及构造物的制造方法。

用以解决课题的手段

本发明第1态样，是一种X线装置，是对被检物体照射X线并检测通过该被检物体的X线，其具备：X线源，从发光点射出X线；载台，支承该被检物体；检测器，检测从该X线源射出、通过该被检物体的穿透X线的至少一部分；移动装置，为改变该发光点与该被检物体间的距离、或该发光点与该检测器间的距离的至少一方的距离，而使该X线源、该载台或该检测器之一作为移动物体移动于第1方向；以及第1测量装置及第2测量装置，是测量在该第1方向的该移动物体的位置；该第1测量装置与第2测量装置，是配置在该移动装置的可移动区域中与该第1方向交叉的第2方向。

本发明第2态样，是一种X线装置，是对被检物体照射X线并检测通过该被检物体的X线，其具备：X线源，从发光点射出X线；载台，支承该被检物体；检测器，检测从该X线源射出、通过该被检物体的穿透X线的至少一部分；以及引导装置，为改变该发光点与该被检物体的距离或该发光点与该检测器的距离中的至少一方的距离，将该X线源、该载台及该检测器中的至少一者移动以平面的引导面加以规定，以引导该移动；包含该引导面、与该引导面平行的平面，是配置在以该检测器检测通过该被检物体的穿透X线的区域内。

本发明第3态样，是一种X线装置，是对被检物体照射X线并检测通过该被检物体的X线，其具备：X线源，从发光点射出X线；载台，支承该被检物体；检测器，检测从该X线源射出、通过该被检物体的穿透X线的至少一部分；以及引导装置，是引导该X线源、该载台及该检测器中至少一者的、在与连结该发光点与该检测器接受该X线的受光面中心的轴平行方向的移动；包含规定该X线源、该载台及该检测器的移动平面的引导面、与该引导面平行的平面，是配置在连结该发光点与该检测器接受该X线的受光面中心的轴的近旁。

本发明第4态样，是一种构造物的制造方法，其包含：作成关于构造物形状的设计信息、根据该设计信息制作该构造物、以制作的该构造物为该被检物体使用前述X线装置测量所制作的该构造物的形状、以及比较该测量所得的形状信息与该设计信息。

发明效果

根据本发明的态样，可提供一种能抑制检测精度降低的X线装置及构造物的制造方法。

附图说明

图1是显示实施形态的装置的一例的图。