[发明专利]放电离子化电流检测器及其调整方法

说明书

技术领域

本发明主要涉及一种适合作为气相色谱仪(GC)用的检测器的放电离子化电流检测器及其调整方法，更具体来说，涉及检测器的测定结果的精度、再现性的改善。

背景技术

作为GC用的检测器，除了氢火焰离子化检测器(FID：Flame Ionization Detector)、热导检测器(TCD：Thermal Conductivity Detector)、电子捕获检测器(ECD：Electron Capture Detector)之外，脉冲放电离子化电流检测器(PDD：Pulsed Discharge Detector)、低频介质阻挡放电离子化电流检测器(BID：Dielectric Barrier Discharge Ionization Detector)等各种方式的检测器一直以来都被采用。

在检测器之中，为了检测有机物而一般使用的是FID。FID利用氢焰使试样气体中的试样成分离子化，并对该离子电流进行检测。FID具有动态范围宽这样的特征，但由于是利用氢焰使试样成分燃烧从而离子化，所以对于难燃性气体、无机气体的灵敏度低，成为分析对象的化合物被限定。

另一方面，利用由向电极的高压脉冲施加所引起的放电激发氦气等而生成等离子体，利用该等离子体的发光(真空紫外光等)使试样离子化的PDD对于难燃性气体、无机气体也具有高灵敏度，适合于气相色谱仪所要求的基本全部的化合物的检测。但是，PDD的动态范围比不上FID。其主要原因被认为是PDD中放电不稳定，等离子体状态发生变动的缘故(例如参照专利文献1)。

相对于此，采用通过设置由电介质包围的空间，对在该电介质的外侧形成的放电用电极施加交流的低频电压，从而在该空间内生成等离子体的BID的话，其放电比PDD稳定，等离子体状态的变动得以抑制。这是因为，放电用电极和等离子体被阻挡介质(合成石英等)分离，该放电用电极不会暴露于等离子体，能够防止溅射粒子或被吸附的气体分子的放出，又，由低频电压(频率为5～50kHz左右、振幅为数kV左右)生成的等离子体与由PDD的高电压脉冲(频率为数MHz、振幅为数kV左右)生成的等离子体相比，其等离子体温度低，能够抑制由检测器的内壁材料的加热导致的杂质气体的产生。其结果，BID稳定性优异，能够长期得到良好的SN比(例如参照专利文献1至5)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本特开2011-117854号公报

专利文献2:日本特开2011-158357号公报

专利文献3:日本特开2011-232071号公报

专利文献4:日本特开2012-8088号公报

专利文献5:日本特开2010-60354号公报

发明内容

发明要解决的问题

如上所述，对于放电离子化电流检测器，使放电稳定化比较重要。采用BID的话，虽然能够如上述那样得到比较稳定的放电，但在实际的使用中，检测结果会由于各种原因而产生偏差，测定的精度、再现性降低。

本申请发明正是为了解决上述问题而做出的，其目的在于，提高一种能够防止测定的精度、再现性降低的放电离子化电流检测器。

用于解决问题的手段

放电的状态由于氦气中所包含的微量的杂质而变化，所以在例如PDD中，推荐使用纯度高的气体。但是，一直控制由于各种原因混入的杂质量比较困难。因此，要稳定地保持检测器性能，直接对正进行试样离子化的真空紫外光的光量进行测定较为理想。但是，为了直接测定波长200nm以下的真空紫外光，需要使用高价·大型的真空紫外用分光装置。

本申请的发明者进行各种实验，发现对于通过放电激发氦气而生成的等离子体，可以根据波长比真空紫外光(波长10～200nm)长的250～700nm的波长范围的发光光谱来判断真空紫外光的发光状态。