[发明专利]放电离子化电流检测器及其调整方法

权利要求书

1.一种放电离子化电流检测器的调整方法，其特征在于，

在利用由低频介质阻挡放电生成的氦等离子体的放电离子化电流检测器中，对导入的氦气的纯度、导入的氦气的流量、低频介质阻挡放电时的电压的振幅、以及低频介质阻挡放电时的电压的频率中的至少一个进行调整，以使得在该氦等离子体所发出的250～700nm的波长范围的光之中，640nm的光的强度为最大。

2.一种放电离子化电流检测器，其是利用由低频介质阻挡放电生成的氦等离子体的放电离子化电流检测器，其特征在于，包括：

a)导入氦气的氦气导入部；

b)对施加于用于低频介质阻挡放电的放电用电极的低频电压的振幅或者频率进行调整的电压调整部；

c)对氦等离子体所发出的250～700nm的波长范围的光的各个波长的强度进行检测的光检测部；以及

d)控制所述电压调整部以使得在所述波长范围中640nm的光的强度为最大的控制部。

3.如权利要求2所述的放电离子化电流检测器，其特征在于，还包括：

e)对导入的氦气的纯度进行调整的氦气纯度调整部；以及

f)对导入的氦气的流量进行调整的氦气流量调整部，

所述控制部控制所述氦气纯度调整部以及所述氦气流量调整部中的至少一个，以使得在所述波长范围中640nm的光的强度为最大。

4.如权利要求2或3所述的放电离子化电流检测器，其特征在于，

所述控制部还控制所述电压调整部，以使得640nm的光的强度为一定。

5.一种放电离子化电流检测器，其是利用由低频介质阻挡放电生成的氦等离子体的放电离子化电流检测器，其特征在于，包括：

导入纯度以及流量设定为规定值的氦气的氦气导入部；以及

低频电压施加部，所述低频电压施加部将低频电压施加于用于低频阻挡放电的放电用电极，所述低频电压被决定为使得在氦等离子体所发出的250～700nm的波长范围的光之中，640nm的光的强度为最大。

6.一种放电离子化电流检测器，其是利用由低频介质阻挡放电生成的氦等离子体的放电离子化电流检测器，其特征在于，包括：

将振幅以及频率设定为规定值的低频电压施加于用于低频阻挡放电的放电用电极的低频电压施加部；以及

导入氦气的氦气导入部，所述氦气的纯度或者流量被决定为使得在氦等离子体所发出的250～700nm的波长范围的光之中，640nm的光的强度为最大。