[发明专利]搬送装置、元件安装装置及抓持件

权利要求书

1.一种搬送装置，其特征在于包括：

头部主体，能够移动；

抓持件，包含安装在所述头部主体上的抓持件主体、以及沿特定方向能够相对地接近离开的第一抓持爪及第二抓持爪，通过接受工作压的供应而工作；

压力供应机构，包含与所述抓持件相连的压力通道，对该抓持件供应所述工作压；其中，

所述抓持件主体包括与所述压力通道连通且沿所述特定方向延伸的工作缸、以及用于将该工作缸的内部向大气开放的排泄通道，

所述第一抓持爪包含收容在所述工作缸内的活塞部，通过接受供应到所述工作缸的所述工作压，从而沿着该工作缸向接近所述第二抓持爪的第一方向位移，并且以能够位移至两抓持爪的间隔成为比抓持被搬送物时的两抓持爪之间的第一间隔更狭窄的第二间隔的状态的方式来设定该第一抓持爪的最大位移量，

所述活塞部包括通道开闭部，该通道开闭部在两抓持爪的间隔成为所述第二间隔的状态下，使所述排泄通道与所述工作缸连通以排泄所述工作缸内的压力。

2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于：

所述抓持件主体还包括施力部件，该施力部件对所述活塞部施加向与所述第一方向相反的第二方向的作用力。

3.根据权利要求2所述的搬送装置，其特征在于：

使所述第一抓持爪沿所述第一方向位移的力亦即所述活塞部受到所述工作压而产生的所述第一抓持爪的工作力，不依所述排泄通道与所述工作缸的连通状态而大于所述施力部件的作用力。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的搬送装置，其特征在于：

所述通道开闭部以随着两抓持爪的间隔从第一间隔开始缩窄而所述工作缸内的压力连续地变化的方式，使所述排泄通道与所述工作缸连通。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的搬送装置，其特征在于还包括：

检测部，检测所述压力通道内的压力或空气流量；

判定部，根据所述检测部的检测数据和所述压力供应机构的所述工作压的供应状态，判定所述抓持件抓持被搬送物的抓持状态。

6.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于还包括：

检测部，检测所述压力通道内的压力或空气流量；

判定部，根据所述检测部的检测数据和所述压力供应机构的所述工作压的供应状态，判定所述抓持件抓持被搬送物的抓持状态。

7.一种元件安装装置，其特征是用于将元件安装到基板上的装置，

该元件安装装置包括：

权利要求1至6中任一项所述的搬送装置，将所述元件或用于该元件的安装作业的作业用部件作为被搬送物来搬送。

8.根据权利要求7所述的元件安装装置，其特征在于还包括：

支撑装置，包含作为所述作业用部件而支撑所述基板的支撑销、以及能够让所述支撑销插拔地安装的支撑板；其中，

所述搬送装置为了变更所述支撑销的排列而搬送所述支撑销。

9.根据权利要求7或8所述的元件安装装置，其特征在于：

所述搬送装置是吸嘴和所述抓持件有选择地被安装于所述头部主体而成的装置，所述吸嘴通过吸附元件来保持该元件，

所述压力供应机构对所述吸嘴供应元件吸附用的负压，并且将该负压作为所述工作压供应给所述抓持件。

10.一种抓持件，其特征在于：

该抓持件被安装于设置在搬送装置上的能够移动的头部主体，通过指定的压力通道接受工作压的供应而工作，

该抓持件包括安装在所述头部主体上的抓持件主体、以及沿特定方向能够相对地接近离开的第一抓持爪及第二抓持爪，

所述抓持件主体包括与所述压力通道连通且沿所述特定方向延伸的工作缸、以及用于将该工作缸的内部向大气开放的排泄通道，

所述第一抓持爪包含收容在所述工作缸内的活塞部，通过接受供应到所述工作缸的所述工作压，从而沿着该工作缸向接近所述第二抓持爪的方向位移，并且以能够位移至两抓持爪的间隔成为比抓持被搬送物时的两抓持爪之间的第一间隔更狭窄的第二间隔的状态的方式来设定该第一抓持爪的最大位移量，

所述活塞部包括通道开闭部，该通道开闭部在两抓持爪的间隔成为比所述第一间隔更狭窄的状态下，使所述排泄通道与所述工作缸连通以排泄所述工作缸内的压力。