[发明专利]用于将靶材料沉积在有机电功能材料上的方法

权利要求书

1.用于将靶材料沉积在有机电功能材料上的方法，所述方法包括以下步骤：

-提供具有有机电功能材料如电致发光发射层的衬底；

-通过脉冲激光沉积产生靶材料的蒸气羽流；

-将第一层靶材料沉积在所述有机电功能材料上，同时保持沉积微粒的最大微粒速率低于预设值；和

-将第二层靶材料沉积在第一层靶材料上，同时沉积微粒的最大微粒速率高于预设值。

2.根据权利要求1所述的方法，其中在使用第一压力方案时沉积第一层，在使用第二压力方案时沉积第二层，且其中所述第二压力低于所述第一压力。

3.根据权利要求1所述的方法，其中使蒸气羽流在有机电功能材料表面的上方移动，并且控制所述蒸气羽流，使得羽流芯部中的微粒的最大速率高于预设值并且使围绕芯部的微粒的最大速率低于预设值。

4.根据权利要求3所述的方法，其中在有机电功能材料表面的外部开始移动蒸汽羽流。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述靶材料与所述衬底之间的距离在沉积所述第一层期间增加和所述距离在沉积所述第二层期间减少。

6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中合并的第一和第二层是透明导电氧化物，尤其是铟锡氧化物。

7.采用根据前述权利要求中任一项所述的方法制造的中间产品。其中所述产品包括：

-具有有机电功能材料如电致发光发射层的衬底；

-沉积在所述有机电功能材料上的第一层靶材料，其中沉积微粒在边缘渗入和/或损害所述有机电功能材料。

8.有机发光二极管，包括：

-衬底；

-布置在所述衬底上的第一导电层；

-布置在所述第一导电层上的电致发光发射层；和

-布置在所述电致发光发射层上的第二导电层；

其特征在于，使用根据权利要求1－7中任一项所述的方法布置所述第二导电层。