[发明专利]偏振紫外线分离元件

权利要求书

1.一种偏振紫外线分离元件，包括：

基底层；和

条纹形状的凸部，所述条纹形状的凸部包含钛金属复合氧化物，并且在所述基底层上平行地形成，

其中，所述钛金属复合氧化物由下面的化学式1表示：

[化学式1]

Ti_xM_yO₂

其中，M为第二金属，该第二金属为Ni、Cr、Cu、Fe、B、V、Nb、Sb、Sn、Si或Al，y为0.01至0.2，(x+y)为1。

2.根据权利要求1所述的偏振紫外线分离元件，其中，由下面等式1计算的R为2以上：

[等式1]

R＝Tc/Tp

其中，Tc表示相对于所述偏振紫外线分离元件以与所述条纹形状的凸部垂直的方向偏振且波长为250至350nm的光的透射率，Tp表示相对于所述偏振紫外线分离元件以与所述条纹形状的凸部平行的方向偏振且波长为250至350nm的光的透射率。

3.根据权利要求1所述的偏振紫外线分离元件，其中，由下面等式2计算的P为0.2至0.5：

[等式2]

P＝Tc/T

其中，T表示辐射至所述偏振紫外线分离元件且波长为250至350nm的光的强度，Tc表示所辐射的光中穿过所述偏振紫外线分离元件的、以与所述条纹形状的凸部垂直的方向偏振且波长为250至350nm的光的强度。

4.根据权利要求1所述的偏振紫外线分离元件，其中，所述钛金属复合氧化物在350nm波长下的透射率小于10％。

5.根据权利要求1所述的偏振紫外线分离元件，其中，所述第二金属在所述钛金属复合氧化物中的比例为1至20mol％。

6.根据权利要求1所述的偏振紫外线分离元件，其中，平行形成的所述条纹形状的凸部的间距为50nm至200nm。

7.根据权利要求6所述的偏振紫外线分离元件，其中，所述凸部的宽度W相对于该凸部的间距P之比W/P为0.2至0.8。

8.根据权利要求1所述的偏振紫外线分离元件，其中，所述凸部的高度为20至300nm。

9.一种光照射装置，包括：

对象安装装置；和

权利要求1所述的偏振紫外线分离元件。

10.根据权利要求9所述的光照射装置，还包括位于所述对象安装装置与所述偏振紫外线分离元件之间的定向掩膜。

11.根据权利要求9所述的光照射装置，还包括用紫外线照射所述偏振紫外线分离元件的紫外光源。

12.一种用光照射对象的方法，包括：

在权利要求9所述的光照射装置的对象安装装置上安装对象；和

经过所述偏振紫外线分离元件，照射所述对象。

13.一种制备定向排列的光定向层的方法，包括：

在权利要求9所述的光照射装置的对象安装装置上安装光定向层；和

用经过所述偏振紫外线分离元件的线性偏振光照射所述光定向层。