[发明专利]磨具以及使用了该磨具的磨削抛光装置

权利要求书

1.一种磨具，对被加工物进行磨削抛光，其特征在于，具有：

磨具立柱，其由对上述被加工物进行磨削抛光的磨粒以及结合材料构成，包括在进行磨削抛光的面的深度方向上具有轴L且平行配置的多个立柱，以及

磨具基体，其与该磨具立柱形成为一体，

上述磨具立柱和磨具基体均由磨粒和结合材料构成，磨具立柱中的磨粒的硬度高于磨具基体的磨粒的硬度，上述磨具立柱的杨氏模量小于上述磨具基体的杨氏模量，

上述磨具立柱以及磨具基体为气孔率20～60体积％的多孔体，

从上述磨具的背部排出液体、气体，

经由该气孔向被加工物和磨具之间注入冷却液、气体、具有化学抛光剂的浆料或者它们的混合物并加压，

使用真空装置经由上述气孔对被加工物和磨具之间进行减压，将上述磨具面抽真空，拉近上述磨粒与被加工物的距离。

2.根据权利要求1所述的磨具，其特征在于，

对上述被加工物进行磨削抛光的面是平面或者曲面。

3.根据权利要求1或2所述的磨具，其特征在于，

上述磨具安装在被加工物的两面，从而能够进行两面加工。

4.根据权利要求1或2所述的磨具，其特征在于，

从上述磨具的磨削抛光面的背部连续或者以脉冲状直接排出液体、气体，防止磨具气孔堵塞，从而能够连续加工。

5.根据权利要求1或2所述的磨具，其特征在于，

从上述磨具的磨削抛光面的背部直接排出液体、气体，防止被加工物粘接在磨削抛光面，从而在加工后易于取出被加工物。

6.一种磨削抛光装置，其特征在于，

使用权利要求1或2所述的磨具。