[发明专利]具有用于紫外发生的可更换模块的高功率固态激光器

权利要求书

1.一种腔内模块，其设置成可更换地安装在激光共振腔内部，该腔内模块包括：

第一光学元件；

第二光学元件；以及

频率转换元件，该频率转换元件设置成接收第一频率的光并输出第二频率的光，其中所述第一光学元件在第一频率是至少部分透射的；并且

其中所述频率转换元件至少由所述第一光学元件和第二光学元件封装。

2.根据权利要求1所述的腔内模块，其特征在与，所述第一频率为所述激光共振腔的基频和/或所述激光共振腔的基频的更高频谐波。

3.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述第二频率为第一频率的更高频谐波。

4.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述第一光学元件和/或第二光学元件在第二频率处是反射性的。

5.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述第二光学元件在第一频率处是反射性的。

6.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述频率转换元件密封在所述第一和第二光学元件之间。

7.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述第一和/或第二光学元件的第一表面与外部环境是密封隔离的。

8.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述第一频率转换元件由波纹管进一步封装。

9.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述频率转换元件包括非线性光学晶体。

10.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，第一腔内镜片、第二腔内镜片和频率转换元件设置在公共光轴上以形成在第二频率处的共振腔。

11.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述频率转换元件安装在动力学平台上。

12.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述频率转换元件可选地利用珀尔帖元件被热稳定化，进一步可选地，其中所述珀尔帖元件安装在水冷却式平台上。

13.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述第一光学元件和/或第二光学元件安装在动力学平台上；和/或所述第一和/或所述第二腔内镜片为水冷却式的。

14.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，在所述频率转换元件与所述第一和第二光学元件之间的封装空间是经气体吹扫的。

15.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，在所述频率转换元件与所述第一和第二光学元件之间的封装空间是真空。

16.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述频率转换元件的至少一个面粘合至光学窗口。

17.根据前述权利要求中任一项所述的腔内模块，其特征在于，所述腔内模块连接至用于在一个或更多个方向上平移所述腔内模块的平移机构。

18.一种激光共振腔：

第一激光腔镜片；

激光增益介质；

权利要求1-17中任一项所述的腔内模块；

其中设置所述腔内模块的第二光学元件，以形成所述第二激光腔镜片。

19.根据权利要求18所述的激光共振腔，其特征在于，其进一步包括在所述腔内模块和所述第一激光腔镜片之间的二次谐波发生器。

20.一种基本如在此结合附图描述的腔内模块或激光共振腔。