[发明专利]转子及具备该转子的真空泵

说明书

提供一种适合实现真空泵的排气性能的提高和防止从取平衡部的碎片的脱落的转子、以及具备该转子的真空泵。提供一种适合实现真空泵的排气性能和取平衡的作业性的提高、及防止从取平衡部的碎片的脱落、以及碎片万一脱落时的早期排出、早期发现的真空泵的转子等。真空泵（P1）的转子（6）具备第1及第2筒体（61、62）、和将两个筒体（61、62）的端部彼此连结的连结部（60）。第1筒体（61）在其外周面上具备多个旋转叶片（13），并且通过将这些多个旋转叶片（13）沿着真空泵轴心与多个固定叶片（14）交替地配置，构成叶片排气部（Pt）。第2筒体（62）通过至少在其内周侧形成螺纹槽排气流路（R1），构成螺纹槽排气部（Ps）。并且，在上述转子（6）中，在第1筒体（61）或连结部（60）的内周面上设置转子（6）的取平衡部（K1），在该取平衡部（K1）上设置质量附加机构（M）。

技术领域

本发明涉及作为半导体制造装置、平板显示器制造装置、太阳能面板制造装置的处理腔室、其他密闭腔室的气体排气机构等使用的真空泵的转子和具备该转子的真空泵。

背景技术

作为通过转子的旋转将腔室的气体排气的真空泵，已知有例如在专利文献1中公开的真空泵。在这样的真空泵中，在该真空泵组装制造阶段中，需要进行包括转子（8）及一体地设在其外周面上的旋转叶片（10）的旋转体整体的取平衡。

特别是，在如专利文献1那样将腐蚀性气体排气的真空泵的情况下，由于在转子（8）的表面上形成有例如镍磷镀层那样的防腐蚀皮膜，所以通过对形成有该防腐蚀皮膜的区域作为质量附加机构而涂敷合成树脂粘接剂，在防止转子（8）的腐蚀的同时，进行旋转体整体的取平衡（参照专利文献1的段落0008的记载及该文献1的图1至图3）。

可是，在这种真空泵中，近年来，为了实现其排气性能的进一步的提高，已知有将到目前为止由铝合金等金属材料形成的转子的一部分用如纤维强化树脂材料那样比金属材料轻量且有强度的材料形成的结构（该结构例如参照专利文献2）、或如本申请的图9所示的以往的真空泵（螺纹槽泵并行流型）那样使用来通过转子6的旋转将气体排气的螺纹槽排气流路R1、R2并行化的结构（该结构例如参照专利文献3）。

但是，根据本申请的图9所示的以往的真空泵（并行流型），转子6的比大致中间（具体而言，连结部60）靠下游（从转子6的大致中间到转子6的气体排气口3侧端部的范围）作为螺纹槽排气部Ps发挥功能。并且，在该螺纹槽排气部Ps的区域中，通过在转子6的内外周侧设置螺纹槽排气流路R1、R2，实现了螺纹槽排气流路的并行化和由其带来的排气性能的进一步的提高。因此，在对本申请的图9所示的以往的真空泵（并行流型）应用专利文献1所公开的以往的取平衡的情况下，发生下述《问题A》到《问题D》。

《问题A》

参照本申请的图9，由于在与内侧的螺纹槽19A对置的转子6的内周面上设有通过合成树脂粘接剂M1的涂敷形成的取平衡部BC，所以螺纹槽排气部Ps整体的有效的螺纹长度变短，真空泵P6的排气性能下降。

《问题B》

参照本申请的图9，通过合成树脂粘接剂M1的涂敷形成的取平衡部BC在转子6内周侧的螺纹槽排气流路R1中露出，露出的合成树脂粘接剂M1暴露在螺纹槽排气流路R1内的腐蚀性气体中。因此，取平衡用的合成树脂粘接剂M1因腐蚀而破碎，成为碎片，有可能向上述制造装置的处理腔室、其他密闭腔室流出。例如，可以考虑在通过转子的旋转运动给碎片施加了动能的情况、或发生了从真空泵向腔室侧的排出气体的倒流的情况下等的流出。这样的碎片的流出在采用合成树脂粘接剂M1以外的别的质量附加机构作为取平衡用的重物的情况下也同样会发生。

《问题C》