[发明专利]缺陷分类装置、缺陷分类方法、控制程序和记录介质

说明书

技术领域

本发明涉及通过对拍摄检查对象物得到的图像进行解析的该检查对象物的缺陷检测，具体涉及检测出的缺陷的分类。

背景技术

在工业产品的制造工序中，进行缺陷的检查对于确保产品的质量很重要，一般都要进行。另外，使用检查装置的自动检查也变得实用化。

例如，下述的专利文献1记载了如下技术，使用作为检查对象物的平板显示器的图像的输入图像来检测在该平板显示器中产生的缺陷，另外将检测出的缺陷按每个类型分类。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国公开专利公报“特开2012-32369号公报(2012年2月16日公开)”

发明内容

发明要解决的问题

在此，已知在如形成有配线的基板那样在表面形成有薄膜的产品中，会由于异物进入了膜内而产生缺陷(以下称为膜内异物)。另外，作为与膜内异物在外观上类似的缺陷，也已知会由于在膜上附着有异物而产生缺陷(以下称为膜上异物)。这种缺陷在使用CVD(Chemical Vapor Deposition：化学气相沉积)装置制造的产品中特别容易发生。

膜内异物是产品不合格的原因，因此需要利用修复装置除去。另一方面，膜上异物可通过清洗除去，因此不会成为不合格的原因。这样，膜内异物和膜上异物所需的处理方法不同，因此希望能识别这些缺陷。

然而，在如上所述的现有技术中，有难以识别外观上类似的膜内异物和膜上异物或者识别精度低的问题。

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供能对膜内异物和膜上异物进行识别分类的缺陷分类装置等。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题，本发明的一个实施方式的缺陷分析装置是对拍摄在表面形成有薄膜的检查对象物而得到的检查图像中检测出的缺陷区域的缺陷进行分类的缺陷分类装置，其特征在于，具备：特征量算出单元，其算出表示作为上述缺陷区域的一部分的沿着该缺陷区域的外周的环状的区域即外周区域中包含的像素的颜色和作为上述缺陷区域外的区域的与上述外周区域相邻的非缺陷区域的像素的颜色之间的差异的大小的特征量；以及缺陷分类单元，其基于上述特征量算出单元所算出的上述特征量，将上述缺陷区域的缺陷分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的内部侧存在异物的膜内异物缺陷，或者分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的外部侧存在异物的膜上异物缺陷。

另外，本发明的一个实施方式的缺陷分析方法是对拍摄在表面形成有薄膜的检查对象物而得到的检查图像中检测出的缺陷区域的缺陷进行分类的缺陷分类装置所涉及的缺陷分析方法，其特征在于，具备：特征量算出步骤，算出表示作为上述缺陷区域的一部分的沿着该缺陷区域的外周的环状的区域即外周区域中包含的像素的颜色和作为上述缺陷区域外的区域的与上述外周区域相邻的非缺陷区域的像素的颜色之间的差异的大小的特征量；以及缺陷分类步骤，基于在上述特征量算出步骤中算出的上述特征量，将上述缺陷区域的缺陷分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的内部侧存在异物的膜内异物缺陷，或者分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的外部侧存在异物的膜上异物缺陷。

并且，本发明的其它实施方式的缺陷分析装置是对拍摄在表面形成有薄膜的检查对象物而得到的检查图像中检测出的缺陷区域的缺陷进行分类的缺陷分析装置，其特征在于，具备：特征量算出单元，其算出表示作为上述缺陷区域的一部分的沿着该缺陷区域的外周的环状的区域即外周区域中包含的像素的颜色与上述缺陷区域内的上述外周区域以外的区域即内部区域的像素的颜色之间的差异的特征量；以及缺陷分类单元，其基于上述特征量算出单元所算出的上述特征量，将上述缺陷区域的缺陷分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的内部侧存在异物的膜内异物缺陷，或者分类为相对于上述薄膜在上述检查对象物的外部侧存在异物的膜上异物缺陷。