[发明专利]研磨材料再生方法

权利要求书

1.一种研磨材料再生方法，其从包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料中再生研磨材料，该研磨材料选自下述研磨材料组中的至少一种，并且所述研磨材料再生方法经由下述工序A～D来再生研磨材料，而且工序D在工序A～工序C中任意一项工序之后进行或者与工序B或工序C同时进行，

工序A：回收包含使用过的研磨材料的研磨材料浆料的浆料回收工序A；

工序B：向该回收得到的研磨材料浆料中添加作为无机盐的含有碱土金属元素的金属盐，使研磨材料凝聚，从母液中分离出该研磨材料并进行浓缩的分离浓缩工序B；

工序C：对该分离并浓缩后的研磨材料进行固液分离并进行回收的研磨材料回收工序C；

工序D：用磁性过滤器过滤去除混入研磨材料浆料的金属元素粒子的过滤工序D，

研磨材料组：氧化铈、金刚石、氮化硼、碳化硅、氧化铝、氧化铝-氧化锆、氧化锆。

2.如权利要求1所述的研磨材料再生方法，其中，所述磁性过滤器由永久磁铁材料或者电磁铁材料构成。

3.如权利要求1或2所述的研磨材料再生方法，其还包括工序E：对回收得到的所述研磨材料的粒径进行调整的粒径控制工序E，

所述过滤工序D在所述粒径控制工序E即将开始前进行。

4.如权利要求3所述的研磨材料再生方法，其中，在所述研磨材料回收工序C之后，所述粒径控制工序E之前，还包括工序F：对上述回收得到的研磨材料实施过滤处理并进行二次浓缩的第二浓缩工序F。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的研磨材料再生方法，其中，所述分离浓缩工序B中使用的含有碱土金属元素的金属盐为镁盐。

6.如权利要求1至5中任意一项所述的研磨材料再生方法，其中，所述研磨材料回收工序C中，研磨材料的回收方法是利用自然沉降的倾析分离法。